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MPCVD設備品牌
固璽科技產(chǎn)地
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“MPCVD”中文全稱名叫“微波等離子體化學氣相沉積”,，MPCVD法的設備是制備高品質(zhì)金剛石的培育設備,。其工作原理是利用微波作為能量來源,，在特定的反應氣體條件下激發(fā)等離子體進行材料外延生長，微波系統(tǒng)將微波源產(chǎn)生的微波能量以特有的模式經(jīng)矩形波導輸出,，通過模式轉(zhuǎn)換器耦合進入圓柱形等離子體反應腔,，在微波場的作用下，反應氣體被激發(fā)為等離子體狀態(tài),，等離子體是部分電子被剝奪后的原子及原子團被電離后產(chǎn)生的正負離子組成的離子化氣體狀物質(zhì),，等離子體呈球狀形成于金剛石襯底上進行外延生長。
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