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W-150A/B-6K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
W-150A/B-6K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

W-150A/B-6K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

品牌

鉑世光

產(chǎn)地

上海

樣本

暫無
上海鉑世光半導(dǎo)體科技有限公司

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系統(tǒng)特點(diǎn):
·采用方位換向?qū)ΨQ方式微波耦合,,來提高微波的均勻性
·穩(wěn)定沉積面積20cm2
·**功率達(dá)到6KW
·使用純凈的石英窗
·采用不銹鋼反應(yīng)腔,能耐高溫


設(shè)備的優(yōu)勢(shì):
·反應(yīng)可控,,能長時(shí)間穩(wěn)定工作在6KW
·所有電子設(shè)備中采用微波,,沒有電極放電,沒有金屬污染
·高功率高密度等離子體穩(wěn)定在離石英窗一定位置,,減少硅的析出
·參照C/H/O比例表,,對(duì)反應(yīng)物有更大的選擇余地





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售后服務(wù)

10分

易用性

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10分
評(píng)論內(nèi)容
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