日韩av在线高清免费毛片日韩欧美一级成人|女人18以后毛片|国产18女人毛多水多毛片|乱系列人妻视频|中文字幕久久熟女人妻av|91麻豆人妻|校花被我玩弄|父女乱荡|高潮videossex潮喷另类|日本在线观看人妻,黑人侵犯日本人妻,色哟哟视频线在线播放欧美,亚洲欧美国产国产一区第二页

小型管式LPCVD設(shè)備簡(jiǎn)介

LPCVD設(shè)備(化學(xué)氣相沉積CVD）是在低壓高溫的條件下，通過化學(xué)反應(yīng)氣相外延的方法在襯底上沉積各種功能薄膜（主要是Si3N4,、SiO2及Poly硅薄膜）,。可用于科學(xué)研究,、實(shí)踐教學(xué),、小型器件制造。

設(shè)備結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)

1,、小型化,，方便實(shí)驗(yàn)室操作和使用，大幅降低實(shí)驗(yàn)成本
兩種基片尺寸2英寸或4英寸,；每次裝片1～3片,。

基片放置方式：配置三種基片托架，豎直,、水平臥式,、帶傾角。

基片形狀類型：不規(guī)則形狀的散片,、φ2～4英寸標(biāo)準(zhǔn)基片,。

2、設(shè)備為水平管臥式結(jié)構(gòu)

由石英管反應(yīng)室,、隔熱罩爐體柜,、電氣控制系統(tǒng),、真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、溫控系統(tǒng),、壓力控制系統(tǒng)及氣瓶柜等系統(tǒng)組成。

反應(yīng)室由高純石英制成,，耐腐蝕,、抗污染、漏率小,、適合于高溫使用; 設(shè)備電控部分采用了先進(jìn)的檢測(cè)和控制系統(tǒng),，量值準(zhǔn)確，性能穩(wěn)定,、可靠,。