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LPCVD設備品牌
鵬城半導體產(chǎn)地
廣東樣本
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小型管式LPCVD設備簡介
LPCVD設備(化學氣相沉積CVD）是在低壓高溫的條件下,，通過化學反應氣相外延的方法在襯底上沉積各種功能薄膜（主要是Si3N4,、SiO2及Poly硅薄膜）?？捎糜诳茖W研究、實踐教學,、小型器件制造,。
設備結(jié)構(gòu)及特點
1、小型化,，方便實驗室操作和使用,，大幅降低實驗成本
兩種基片尺寸2英寸或4英寸；每次裝片1～3片。
基片放置方式：配置三種基片托架,，豎直,、水平臥式、帶傾角,。
基片形狀類型：不規(guī)則形狀的散片,、φ2～4英寸標準基片。
2,、設備為水平管臥式結(jié)構(gòu)
由石英管反應室,、隔熱罩爐體柜、電氣控制系統(tǒng),、真空系統(tǒng),、氣路系統(tǒng)、溫控系統(tǒng),、壓力控制系統(tǒng)及氣瓶柜等系統(tǒng)組成,。
反應室由高純石英制成，耐腐蝕,、抗污染,、漏率小、適合于高溫使用; 設備電控部分采用了先進的檢測和控制系統(tǒng),，量值準確,，性能穩(wěn)定、可靠,。
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