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英國VacCoat 系列離子濺射儀臺式磁控濺射鍍膜機
英國VacCoat 系列離子濺射儀臺式磁控濺射鍍膜機

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型號

VacCoat 系列

品牌

產(chǎn)地

北京

樣本

暫無
北京歐波同光學技術(shù)有限公司

金牌會員

|

第7年

|

代理商

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核心參數(shù)
  • 誤差率:

    --
  • 分辨率:

    --
  • 重現(xiàn)性:

    --
  • 儀器原理:

    光學計數(shù)
  • 分散方式:

    --
  • 測量時間:

    --
  • 測量范圍:

    精度可達1nm
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  • VacCoat公司


  • Vac Coat有限公司是高質(zhì)量定制物理氣相沉積(PVD)系統(tǒng)的設計者和制造商,,客戶服務和售后服務出色。擁有25年以上真空和薄膜沉積技術(shù)經(jīng)驗,。其研發(fā)團隊在學界科學家和資深工程師的支持下,高度積極地開發(fā)新設計以滿足客戶的特殊要求,。


  • Vac Coat的工程團隊設計和制造的組件符合高質(zhì)量標準,。Vac Coat的真空鍍膜機系統(tǒng)已通過遍布全球的分銷商銷往許多大學和研究中心,并得到了很好的參考和反饋,。



     

    1,、DSR1



    6-1.png


     


    儀器描述:
    該產(chǎn)品為臺式磁控濺射鍍膜機,能夠在非導電或?qū)щ姴涣嫉臉悠飞贤坎冀穑ˋu),,鈀(Pd),,鉑(Pt)和金/鈀(Au  / Pd)的薄膜。  在較短時間內(nèi)即可形成具有細粒度的均勻薄膜,,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析,。儀器結(jié)構(gòu)緊湊,全自動控制,,設計符合人體工程學,,所得結(jié)果一致,可重復性高,。

    產(chǎn)品特點:

    ? 7’’彩色觸摸屏:數(shù)據(jù)輸入簡單快速

  • ? 通過觸摸屏中直觀檢測數(shù)據(jù)和曲線,;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息,。


  • ? 可控鍍膜速率,可得到更精細的晶粒結(jié)構(gòu)


  • ? 可手動或自動,,根據(jù)時間或根據(jù)厚度進行濺射


  • ? 可聯(lián)網(wǎng)更新用戶友好軟件



  • 6-2.png

    ? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測儀(精度可達1nm)

    ? 樣品臺更換簡單:標準旋轉(zhuǎn)樣品臺或選用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺,。標準樣品臺高度可調(diào)、可傾斜,、可旋轉(zhuǎn),;行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果。


     6-3.png

    ? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C

    ? 符合CE標準

    產(chǎn)品參數(shù):

    ? 2英寸磁控管陰極

    ? 兩級直驅(qū)4m3/h旋片機械泵

    ? Pyrex樣品倉:外徑170mm,,高140mm,,

    ? 尺寸:50(W) x 37(D) × 45(H) Cm

    ? 運輸重量(包括真空泵):42kg

    ? 電源:220V-240V,50 / 60HZ-10A

    ? 極限真空度:小于40 mTorr

    ? 電子控制快門

    ? 電子控制真空閥


     

    2,、DCR

     6-4.png

    儀器描述:
    DCR是一臺結(jié)構(gòu)緊湊的臺式鍍碳儀,。可用于掃描電子顯微鏡(SEM),、透射電子顯微鏡(TEM)和能譜分析(EDX)制樣,。

    產(chǎn)品特點:
    ? 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳:Pulsed脈沖式鍍碳:短脈沖提供了更加可控的沉積方式,與傳統(tǒng)鍍碳相比,,碎屑顯著減少


    6-5.png


    ? 7’’彩色觸摸屏:數(shù)據(jù)輸入簡單快速,;真空度、電流,、厚度等鍍膜參數(shù)可通過觸摸屏中的數(shù)據(jù)或曲線直觀監(jiān)測,;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
    ? 可聯(lián)網(wǎng)更新用戶友好軟件
    ? 可記錄和繪制涂層參數(shù)圖表


    6-6.png

     ? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測儀(精度可達1nm)

    ? 樣品臺更換簡單:標準旋轉(zhuǎn)樣品臺或選用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺,。標準樣品臺高度可調(diào),、可傾斜、可旋轉(zhuǎn),;行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果,。



    ? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C

    ? 符合CE標準


    產(chǎn)品參數(shù):

    1、真空泵:二極直驅(qū)旋片機械泵(4m3/h)

    2,、極限真空度:小于50 mTorr

    3,、Pyrex 樣品倉:外徑170mm,140mm,,

    4,、0-25A脈沖直流開關(guān)電源

    5、尺寸:450 x 500 x 370 mm (H x W x D)

    6,、電源:220V-240V,,50 / 60HZ-10A

    7、電子控制快門

    8、精密真空壓力控制閥

    9,、USB數(shù)據(jù)傳輸端口

    10,、運輸重量:46kg



    3、DSCR

     6-8.png

    儀器描述:
    DSCR型臺式多功能鍍膜儀,,是一臺緊湊型涂布系統(tǒng),,集離子濺射系統(tǒng)和鍍碳系統(tǒng)于一體。該系統(tǒng)能夠在不導電或?qū)щ娦圆畹臉悠飞蠟R射金(Au),、鈀(Pd),、鉑(Pt)和金/鈀(Au/Pd)等貴金屬,并且可以在樣品上鍍上碳膜,。
    DSCR是一臺多功能掃描電子顯微鏡制樣設備,。全自動操作選項使得即使是初學者,也可以輕松使用系統(tǒng),,形象的用戶友好軟件,,簡化了對沉積信息的感知。

    產(chǎn)品特點:
    ? 精密可復制涂層:可重復膜厚沉積
    ? 高分辨率精細涂層(金顆??蛇_2nm)
    ? 低壓濺射
    ? 無需冷卻系統(tǒng)
    ? 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳:Pulsed脈沖式鍍碳:短脈沖提供了更加可控的沉積方式,,與傳統(tǒng)鍍碳相比,碎屑顯著減少可使用雙碳纖維蒸鍍,,用于厚層沉積
    ? 易于操作:7’’彩色觸摸屏直觀控制涂布過程,,數(shù)據(jù)輸入簡單快速
    ? 用戶友好的全自動及半自動控制軟件
    ? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測儀(精度可達1nm)
    ? 樣品臺更換簡單:標準旋轉(zhuǎn)樣品臺或選用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺。標準樣品臺高度可調(diào),、可傾斜,、可旋轉(zhuǎn);行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果,。
    ? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C
    ? 符合CE標準

    產(chǎn)品參數(shù):
    1,、真空泵:二極直驅(qū)旋轉(zhuǎn)機械泵(4m3/h)
    2、Pyrex 樣品倉:外徑170mm,,140mm,,
    3,、儀器尺寸:45(H)x50(W)37×(D)Cm
    4,、2英寸磁控管陰極
    5、極限真空度:小于50 mTorr
    6,、電子控制快門
    7,、自動控制泄露閥
    8、電源:220V-240V, 50/60HZ- 10A
    9,、80W直流開關(guān)電源
    10,、運輸重量:42kg

     

    4、DST1-170

    6-9.png

    產(chǎn)品描述:
    DST1-170是一臺結(jié)構(gòu)緊湊的臺式磁控離子濺射儀。適用于金屬材料濺射,,包括惰性金屬以及氧化性金屬,,DST1-170配有直徑為2英寸的磁控管陰極。在較短時間內(nèi)即可形成晶粒尺寸均勻的薄膜,。
    DST1-170高真空濺射儀,,可提供高質(zhì)量的均勻薄膜,具有較細的晶粒尺寸,,十分適用于樣品的高分辨和高品質(zhì)表征,,如FE-SEM、EDS/WDS,、TEM和EBSD,,也可應用于科研和各種薄膜的應用研究中,如:納米和微電子,、太陽能電池應用,、光學元件涂層合薄膜傳感器等。

    產(chǎn)品特點:
    ? 高真空渦輪泵90 L/S(Leybold)+二級旋片式真空泵的前級泵,,為儀器提供了潔凈的高真空,,減少了污染。


    ? 涂層速率可控,,可獲得更細的晶粒結(jié)構(gòu)

    ? 可手動或自動,,根據(jù)時間或根據(jù)厚度進行濺射

    ? 7’’彩色觸摸屏:數(shù)據(jù)輸入簡單快速;真空度,、電流,、厚度等鍍膜參數(shù)可通過觸摸屏中的數(shù)據(jù)或曲線直觀監(jiān)測;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息,。

    ? 觸摸屏直觀地控制涂布過程,,數(shù)據(jù)輸入簡單快速

    ? 可通過網(wǎng)絡更新的用戶友好軟件

    ? 可記錄和繪制涂層參數(shù)圖

    ? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測儀(精度可達1nm)

    ? 樣品臺更換簡單:標準旋轉(zhuǎn)樣品臺或選用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺。標準樣品臺高度可調(diào),、可傾斜,、可旋轉(zhuǎn);行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果,。

    ? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C

    ? 符合CE標準

    6-10.png

    產(chǎn)品參數(shù):

    1,、高真空渦輪泵90 L/S(Leybold)

    2、二極直驅(qū)旋片機械泵(4m3/h)

    3,、極限真空:小于5x10-6 Torr

    4,、獨立于壓力自動控制濺射功率

    5、全量程真空計(Leybold)

    6,、ISO-KF 63蝶形閥

    7,、80 W直流電源

    8,、電子控制快門

    9、電控氬氣泄漏閥

    10,、設施:220V-240V,,50/60HZ-16A

    11、運輸重量:36kg


     

    5,、DCT

    6-11.png

    產(chǎn)品描述:
    DCR是一臺裝有渦輪泵的碳鍍儀,,可提供細粒度均勻的高質(zhì)量碳膜,適用于需要高分辨率和高質(zhì)量表征的樣品,,尤其適合FE-SEM,,EDS/WDS,TEM,,EBSD和薄膜應用研究等,。

    產(chǎn)品特點:
    ? 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳:Pulsed脈沖式鍍碳:短脈沖提供了更加可控的沉積方式,與傳統(tǒng)鍍碳相比,,碎屑顯著減少
    ? 7’’彩色觸摸屏:數(shù)據(jù)輸入簡單快速,;真空度、電流,、厚度等鍍膜參數(shù)可通過觸摸屏中的數(shù)據(jù)或曲線直觀監(jiān)測,;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
    ? 可聯(lián)網(wǎng)更新用戶友好軟件
    ? 可記錄和繪制涂層參數(shù)圖表

    6-12.png

     ? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測儀(精度可達1nm)

    ? 樣品臺更換簡單:標準旋轉(zhuǎn)樣品臺或選用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺,。標準樣品臺高度可調(diào),、可傾斜、可旋轉(zhuǎn),;行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果

    ? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C

    ? 可選用碳棒蒸發(fā)源及適配大電流電源

    ? 符合CE標準

    產(chǎn)品參數(shù):

    1,、高真空渦輪分子泵90 l/s Leybold

    2、二級旋片式真空泵作為分子泵前級泵

    3,、全量程真空計

    4,、真空倉:外徑170mm,140mm

    5,、0-25A脈沖直流開關(guān)電源

    6,、極限真空度:小于50×10-6 Torr

    7、尺寸:450 x 500 x 370 mm (H × W × D)

    8,、電源:220V-240V,,50 / 60HZ-10A

    9、用于精確控制真空壓力的精密計量閥

    10,、電子控制快門

    11,、涂層參數(shù)實時圖

    12,、USB數(shù)據(jù)傳輸端口

    13,、運輸重量:46kg

     

    6、DSCT

    6-13.png

    產(chǎn)品描述:
    DSCT是一臺多功能的涂布系統(tǒng),集濺射鍍膜機和纖維碳鍍膜機于一體:在一臺儀器中具有可互換的磁頭,。
    DSCT高真空鍍膜機,,可提供晶粒尺寸很細的高質(zhì)量均勻薄膜,適用于需要高分辨率和高質(zhì)量表征的樣品,,如FE-SEM,、EDS/WDS、TEM和EBSD,。
    DSCT具有2''磁控管陰極,,80w直流開關(guān)電源和碳蒸發(fā)大電流電源,也可用于科研及不同薄膜的應用研究中,。
     
    產(chǎn)品特點:
    ? 高真空渦輪泵90 L/S(Leybold)+二級旋片式真空泵的前級泵,,為儀器提供了潔凈的高真空,減少了污染

    6-14.png

    ? 涂層速率可控,,可獲得更細的晶粒結(jié)構(gòu)
    ? 可進行Flash式或Pulsed式鍍碳:Pulsed脈沖式鍍碳:短脈沖提供了更加可控的沉積方式,,與傳統(tǒng)鍍碳相比,碎屑顯著減少
    ? 可手動或自動,,根據(jù)時間或根據(jù)厚度進行濺射
    ? 7’’彩色觸摸屏:數(shù)據(jù)輸入簡單快速,;真空度、電流,、厚度等鍍膜參數(shù)可通過觸摸屏中的數(shù)據(jù)或曲線直觀監(jiān)測,;歷史頁面可顯示300個歷史涂層信息。
    ? 觸摸屏直觀地控制涂布過程,,數(shù)據(jù)輸入簡單快速
    ? 可通過網(wǎng)絡更新的用戶友好軟件
    ? 可記錄和繪制涂層參數(shù)圖
    ? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測儀(精度可達1nm)
    ? 樣品臺更換簡單:標準旋轉(zhuǎn)樣品臺或選用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺,。標準樣品臺高度可調(diào)、可傾斜,、可旋轉(zhuǎn),;行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺為多孔樣品帶來更好的噴金效果。
    ? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C
    ? 符合CE標準


    產(chǎn)品參數(shù):
    1,、極限真空:小于5×10-6 Torr
    2,、獨立于壓力自動控制濺射速率
    3、用于精確控制真空壓力的精密質(zhì)量流量計(MFC)
    4,、可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C
    5,、設施:220V-240V,50/60HZ-16A
    6,、運輸重量:42kg


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10分

易用性

10分

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