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產(chǎn)品詳情

高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)（電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)）是在高真空條件下,，采用電子束轟擊材料加熱蒸發(fā)的方法，在襯底上鍍制各種金屬,、氧化物,、導(dǎo)電薄膜,、光學(xué)薄膜,、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜,、超硬膜等,；可鍍制混合物單層膜、多層膜或摻雜膜,；可鍍各種高熔點(diǎn)材料,。

可用于生產(chǎn)、科學(xué)實(shí)驗(yàn)及教學(xué),，可根據(jù)用戶(hù)要求專(zhuān)門(mén)訂制,。

可根據(jù)用戶(hù)使用要求，選配石英晶體膜厚自動(dòng)控制及光學(xué)膜厚自動(dòng)控制兩種方式, 通過(guò)PLC 和工控機(jī)聯(lián)合實(shí)現(xiàn)對(duì)整個(gè)鍍膜過(guò)程的全程自動(dòng)控制, 包括真空系統(tǒng),、烘烤系統(tǒng),、蒸發(fā)過(guò)程和膜層厚度的監(jiān)控功能等,，從而提高了工作效率和保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性和穩(wěn)定性。

設(shè)備特點(diǎn)

設(shè)備具有真空度高,、抽速快,、基片裝卸方便的特點(diǎn)，配備 E 型電子束蒸發(fā)源和電阻蒸發(fā)源,。PID自動(dòng)控溫,，具有成膜均勻、放氣量小和溫度均勻的優(yōu)點(diǎn),。

可根據(jù)用戶(hù)使用要求,，選配石英晶體膜厚自動(dòng)控制及光學(xué)膜厚自動(dòng)控制兩種方式,通過(guò)PLC和工控機(jī)聯(lián)合實(shí)現(xiàn)對(duì)整個(gè)鍍膜過(guò)程的全程自動(dòng)控制,包括真空系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng),、蒸發(fā)過(guò)程和膜層厚度的監(jiān)控功能等,，從而提高了工作效率和保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性和穩(wěn)定性。

真空性能

極限真空：7×10^-5Pa～7×10^-6Pa

設(shè)備總體漏放率：關(guān)機(jī)12小時(shí),，≤10Pa

恢復(fù)工作真空時(shí)間短,，大氣至7×10^-4Pa≤30分鐘；

高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)（電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)）設(shè)備構(gòu)成

E 型電子束蒸發(fā)槍,、電阻熱蒸發(fā)源組件（可選配）,、樣品掩膜擋板系統(tǒng)、真空獲得系統(tǒng)及真空測(cè)量系統(tǒng),、分子泵真空機(jī)組或低溫泵真空機(jī)組,、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺(tái)、工作氣路,、樣品傳遞機(jī)構(gòu),，膜厚控制系統(tǒng)、電控系統(tǒng),、恒溫冷卻水系統(tǒng)等組成,。

可選件：膜厚監(jiān)控儀，恒溫制冷水箱,。