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中小尺度納米深度3D形狀檢測(cè)儀/
大樣品臺(tái)測(cè)量顯微鏡 DX 6045
DX系列光學(xué)顯微鏡是針對(duì)中,、小尺寸觸控面板之Pattern進(jìn)行觀察、量測(cè),。DX系列采花崗巖底座設(shè)計(jì),,可抑制環(huán)境震動(dòng)的影響,提高高倍率觀察量測(cè)之效率,。人性化計(jì)算機(jī)量測(cè)模式,、移動(dòng)方式采手動(dòng)快速位移及定點(diǎn)微調(diào),使操作更便利,、量測(cè)更迅速,。
花崗巖本體結(jié)構(gòu)
X/Y鋁合金平臺(tái)機(jī)構(gòu)
氣浮式快速移動(dòng)機(jī)構(gòu)
OLYMPUS / Leica 光學(xué)系統(tǒng)可搭配5X/10X/20X/50X物鏡
上、下偏光功能
Nomarski 微分干涉功能
高解析彩色CCD
專業(yè)影像量測(cè)軟件
PC計(jì)算機(jī)
防震機(jī)構(gòu)
實(shí)物影像
1,、概要
本顯微鏡測(cè)定器是針對(duì)中,、小型觸控面板之Pattern進(jìn)行其尺寸量測(cè)。
花崗巖本體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),,可抑制環(huán)境震動(dòng)的影響,,提高高倍率量測(cè)之效率。
操作方式采手動(dòng)快速位移及定點(diǎn)微調(diào),,再利用測(cè)定軟件進(jìn)行影像測(cè)定,。
2、特點(diǎn)
1,、基座:落地型,,采用強(qiáng)力鋼管制造及花崗巖床臺(tái),附活動(dòng)輪可自由,、輕易移動(dòng)位置,。
2,、設(shè)備任何操作鈕,皆采前面平臺(tái)操作設(shè)計(jì),,使操作更加便捷,。
3、采用精密包覆式軌道安裝設(shè)計(jì),。
4,、采用U型無牙滾子導(dǎo)軌,具有高剛性及高精度的特點(diǎn),。
5、五孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換,。
6,、X、Y軸安裝空氣離合器,、大移動(dòng)機(jī)構(gòu),。
7、四組被動(dòng)式空氣防震系統(tǒng),,六組防震腳座,,防震系統(tǒng)佳。
3,、主要規(guī)格
3-1 測(cè)定sample
1,、sample尺寸:600 * 450mm
2、sample重量:20KG以下
3,、**測(cè)定物尺寸:X軸 = 800 mm,、Y軸 = 700 mm
4、有效量測(cè)長(zhǎng)尺寸:X軸 = 500 mm,、Y軸 = 400 mm
3-2 Sample Stage
1,、工作臺(tái)面尺寸:800 * 700 mm
2、玻璃尺寸:560 * 460 * 12T mm
3-3 X,、Y,、Z軸
1、行程:600 * 450 mm (X,、Y)
2,、行程:150mm(Z)
3、X,、Y驅(qū)動(dòng)方式:采微調(diào)用手輪,,*小微動(dòng)可達(dá)1um,操作游戲桿分粗動(dòng)
與微動(dòng)兩種速度調(diào)整,。
4,、Z軸采微調(diào)用手輪之操作,對(duì)焦容易。
3-4 可兼容OLYMPUS 或LEICA光學(xué)系統(tǒng)
3-5 機(jī)臺(tái)尺寸:W1200×D760×H1400mm,,落地型,。
3-6 機(jī)臺(tái)重量:800Kg
3-7 Utility:?jiǎn)蜗?20V,20A,,空壓源4KG/cm2
3-8 環(huán)境:
1) 動(dòng)作環(huán)境: 溫度: 10~35℃,,濕度:80%以下
2) 保存環(huán)境: 溫度:-10~50℃,濕度:90%以下
3) 震動(dòng)環(huán)境: 10HZ以下 振幅2um以下
10HZ以上 加速度0.2gal以下
4,、影像量測(cè)軟件系統(tǒng):智能尋邊影像版
影像功能 ;
校正功能 ;
SPC功能
暫無數(shù)據(jù),!