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中小尺度納米深度3D形狀檢測儀/

大樣品臺測量顯微鏡 DX 6045

DX系列光學(xué)顯微鏡是針對中、小尺寸觸控面板之Pattern進(jìn)行觀察,、量測,。DX系列采花崗巖底座設(shè)計(jì)，可抑制環(huán)境震動的影響,，提高高倍率觀察量測之效率,。人性化計(jì)算機(jī)量測模式、移動方式采手動快速位移及定點(diǎn)微調(diào),，使操作更便利,、量測更迅速。

花崗巖本體結(jié)構(gòu)

X/Y鋁合金平臺機(jī)構(gòu)

氣浮式快速移動機(jī)構(gòu)

OLYMPUS / Leica 光學(xué)系統(tǒng)可搭配5X/10X/20X/50X物鏡

上,、下偏光功能

Nomarski 微分干涉功能

高解析彩色CCD

專業(yè)影像量測軟件

PC計(jì)算機(jī)

防震機(jī)構(gòu)

實(shí)物影像

1,、概要

本顯微鏡測定器是針對中、小型觸控面板之Pattern進(jìn)行其尺寸量測,。

花崗巖本體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),，可抑制環(huán)境震動的影響，提高高倍率量測之效率,。

操作方式采手動快速位移及定點(diǎn)微調(diào),，再利用測定軟件進(jìn)行影像測定。

2,、特點(diǎn)

1,、基座：落地型，采用強(qiáng)力鋼管制造及花崗巖床臺,，附活動輪可自由,、輕易移動位置。

2,、設(shè)備任何操作鈕,，皆采前面平臺操作設(shè)計(jì)，使操作更加便捷,。

3,、采用精密包覆式軌道安裝設(shè)計(jì)。

4,、采用U型無牙滾子導(dǎo)軌,，具有高剛性及高精度的特點(diǎn)。

5,、五孔電動物鏡轉(zhuǎn)換,。

6、X、Y軸安裝空氣離合器,、大移動機(jī)構(gòu),。

7、四組被動式空氣防震系統(tǒng),，六組防震腳座,，防震系統(tǒng)佳。

3,、主要規(guī)格

3-1 測定sample

1,、sample尺寸：600 * 450mm

2、sample重量：20KG以下

3,、**測定物尺寸：X軸 = 800 mm,、Y軸 = 700 mm

4、有效量測長尺寸：X軸 = 500 mm,、Y軸 = 400 mm

3-2 Sample Stage

1,、工作臺面尺寸：800 * 700 mm

2、玻璃尺寸：560 * 460 * 12T mm

3-3 X,、Y,、Z軸

1、行程：600 * 450 mm (X,、Y)

2,、行程：150mm（Z）

3、X,、Y驅(qū)動方式：采微調(diào)用手輪,，*小微動可達(dá)1um，操作游戲桿分粗動

與微動兩種速度調(diào)整,。

4,、Z軸采微調(diào)用手輪之操作,，對焦容易,。

3-4 可兼容OLYMPUS 或LEICA光學(xué)系統(tǒng)

3-5 機(jī)臺尺寸：W1200×D760×H1400mm，落地型,。

3-6 機(jī)臺重量：800Kg

3-7 Utility：單相220V,，20A，空壓源4KG/cm2

3-8 環(huán)境：

1) 動作環(huán)境： 溫度： 10~35℃,，濕度：80%以下

2) 保存環(huán)境： 溫度：-10~50℃,，濕度：90%以下

3) 震動環(huán)境： 10HZ以下 振幅2um以下

10HZ以上 加速度0.2gal以下

4、影像量測軟件系統(tǒng)：智能尋邊影像版

影像功能 ;

校正功能 ;

SPC功能