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**的測量
有尖銳角的樣品(剃刀) | 采用了有著高N.A. 的專用物鏡和專用光學(xué)系統(tǒng)(能**限度發(fā)揮405 nm 激光性能),,LEXT OLS4100 可以精確地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測量,。 |
LEXT 專用物鏡 | 使用專用物鏡時的*小象差 |
(MPLAPON50XLEXT) 高度差標(biāo)準(zhǔn) 類型B, PTB-5,, Institut für Mikroelektronik,, Germany, 6 nm 高度測量中的檢測 | 由于采用405 nm 的短波長激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡,,OLS4100 達(dá)到了0.12 μm 的平面分辨率,。因此,可以對樣品的表面進(jìn)行亞微米的測量,。結(jié)合高精度的0.8 nm 的光柵讀取能力和軟件算法,,例如奧林巴斯開創(chuàng)的I-Z 曲線(請參閱第23 頁),OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差,。 |
鉆石電鍍工具 物鏡:MPLAPON50XLEXT | OLS4100 采用了雙共焦系統(tǒng),,結(jié)合高靈敏度的探測器,那些具有不同反射率材料的樣品,,也能在OLS4100 上獲得鮮明的影像,。 |
多層模式
LEXT OLS4100 全新的多層模式則可以識別多層樣品各層上反射光強(qiáng)度的峰值區(qū)域,并將各層設(shè)為焦點(diǎn),,這樣即可實(shí)現(xiàn)對透明樣品上表面的觀察和測量,,而且也可以對多層樣品的各層進(jìn)行分析和厚度測量。
觀察/測量透明材料的各個層
多層模式可實(shí)現(xiàn)對透明樣品的頂部的透明層進(jìn)行觀察和測量,。即使在玻璃基片上覆有一層透明樹脂層,,也可測量出各層的形狀和粗糙度以及表面覆膜的厚度。
通常表示測量儀器的測量精度的,,有2 個指標(biāo):"正確性",,即測量值與真正值的接近程度,,和"重復(fù)性",即多次測量值的偏差程度,。OLS4100 是業(yè)界**同時保證了"正確性"和"重復(fù)性"的激光掃描顯微鏡,。 |
OLS4100 從物鏡制造到成品全部在奧林巴斯工廠內(nèi)完成,并按照一系列嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行全面的檢驗(yàn)并確保產(chǎn)品的質(zhì)量后方才出廠 ,。交付產(chǎn)品時,,由選拔出來的技術(shù)人員,在實(shí)際使用環(huán)境中執(zhí)行校正和*后的調(diào)整,。 |
高度測量可以測量輪廓截面上任意兩點(diǎn)之間的高低差異,。 輪廓測量也同樣可用 | 表面粗糙度測量可以測量線粗糙度,以及平面整體的面粗糙度,。 |
面積/體積測量根據(jù)設(shè)置在輪廓截面上的任意閾值,,可以測量其上部或下部的體積。 | 粒子測量 (選購件)可以通過分離功能使粒子自動分離,,設(shè)置閾值,,根據(jù)ROI 設(shè)置檢測范圍。 |
幾何測量可以測量影像上任意兩點(diǎn)之間的距離,。還可以測量任意區(qū)域的面積。 | 膜厚測量 (選購件)可以根據(jù)測出的對焦位置,,測量透明介質(zhì)的膜厚,。 |
自動尋邊測量 (選購件)可以自動尋邊,測量線寬和圓,,減少人為的測量誤差,。 |
工作流程解決方案,實(shí)現(xiàn)了優(yōu)秀的圖像分析性能
對于粒子尺寸分析或非金屬夾雜物級別的測量,,可以使用OLYMPUS Stream 顯微圖像軟件,,該軟件可以從OLS4100 直接上傳。
想了解更多OLYMPUS Stream相關(guān)內(nèi)容 >
作為表面粗糙度測量的新標(biāo)準(zhǔn),,奧林巴斯開發(fā)了LEXT OLS4100,。對LEXT OLS4100 進(jìn)行了與接觸式表面粗糙度測量儀同樣的校正,并在LEXT OLS4100 上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數(shù)和濾鏡,。這樣,,對于使用接觸式表面粗糙度測量儀的用戶來說,能得到操作性和互換性良好的輸出結(jié)果,。另外,,還搭載了粗糙度專用模式,可以用自動拼接功能測量樣品表面直線距離*長為100 mm 的粗糙度,。 OLS4100 具有與接觸式表面粗糙度測量儀相同的表面輪廓參數(shù),,因此具有相互兼容的操作性和測量結(jié)果。
截面曲線 | Pp, Pv,, Pz,, Pc, Pt,, Pa,, Pq, Psk,, Pku,, Psm, PΔq,, Pmr(c),, Pδc, Pmr |
粗糙度曲線 | Rp,, Rv,, Rz, Rc,, Rt,, Ra, Rq,, Rsk,, Rku, Rsm,, RΔq,, Rmr(c),Rδc,, Rmr,, RZJIS, Ra75 |
波動曲線 | Wp,, Wv,, Wz, Wc,, Wt,, Wa, Wq,, Wsk,, Wku, Wsm,, WΔq,, Wmr(c),, Wδc, Wmr |
負(fù)荷曲線 | Rk,, Rpk,, Rvk, Mr1,, Mr2 |
基本圖形 | R,, Rx, AR,, W,, Wx, AW,, Wte |
粗糙度 (JIS1994) | Ra(JIS1994),, Ry,, Rz(JIS1994),, Sm,, S,, tp |
其他 | R3z,, P3z,, PeakCount |
適應(yīng)下一代參數(shù)
OLS4100 具有符合ISO25178 的粗糙度(3D)參數(shù),。通過評估平面區(qū)域,,可以進(jìn)行高可靠性的分析。
振幅參數(shù) | Sq,, Ssk,, Sku,, Sp,, Sv,, Sz,, Sa |
功能參數(shù) | Smr(c),, Sdc(mr),, Sk,, Spk, Svk,, SMr1, SMr2,, Sxp |
體積參數(shù) | Vv(p),, Vvv, Vvc,, Vm(p), Vmp,, Vmc |
橫向參數(shù) | Sal,, Str |
• LEXT OLS4100 與表面粗糙度測量儀的結(jié)果相兼容。
使用接觸式表面粗糙度測量儀,,無法測量比探針的針尖直徑更細(xì)微的表面輪廓。而OLS4100 有著微小的激光光斑直徑,所以能夠?qū)ξ⒓?xì)形狀進(jìn)行高分辨率的粗糙度測量,。
非接觸式測量使用接觸式表面粗糙度測量儀測量柔軟的樣品時,,樣品容易受到探針損傷而變形,。另外,,帶有粘性的樣品會粘在探針上,,無法得到正確的測量結(jié)果,。而非接觸式的激光顯微鏡OLS4100,,不會影響樣品的表面狀態(tài),可以準(zhǔn)確的測量樣品的表面粗糙度,。 | |
高分子薄膜3D 影像(上)和粗糙度測量結(jié)果(左) |
柔軟的樣品
帶有粘性的樣品
使用接觸式表面粗糙度測量儀,,其探針無法進(jìn)入微米級的區(qū)域,所以不能對這些區(qū)域的特征進(jìn)行測量。而OLS4100 可以正確定位,,能輕松測量出特定微小區(qū)域的粗糙度。
焊線 |
真彩3D 影像 | LEXT OLS4100 可以同時獲取三種不同類型的影像信息:真彩3D 影像、激光全焦點(diǎn)3D 影像和高度信息影像,。 |
激光全焦點(diǎn)3D 影像 | 高度信息影像 |
再現(xiàn)自然色OLS4100 采用了白色的LED 光源和高色彩保真度的CCD 照相裝置以生成清晰,、色彩自然的影像,所得影像可以與高級的光學(xué)顯微鏡相媲美,。 | |
2D 彩色影像(紙張上的墨點(diǎn),、物鏡20x) | 3D 彩色影像(紙張上的墨點(diǎn)、物鏡20x) |
微分干涉觀察是超越了激光顯微鏡的分辨率,、可以觀察到納米以下微小表面輪廓的觀察方法。LEXT OLS4100 通過安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡,,將照明光橫向分為兩束光線來照射樣品,。獲取由樣品直接反射回來的兩束光線的差,生成明暗對比,,從而實(shí)現(xiàn)對微小凹凸的立體觀察,。LEXTOLS4100 擁有DIC 激光模式,即使是低倍率的動態(tài)觀察,,也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像,。
無DIC 的激光影像(高分子薄膜) | 有DIC 的激光影像(高分子薄膜) | |
無DIC 的激光影像(5x 物鏡) 高度差標(biāo)準(zhǔn) 類型 B,, PTB-5, Institut für Mikroelektronik,, Germany | 有DIC 的激光影像(5x 物鏡) 高度差標(biāo)準(zhǔn) 類型 B,, PTB-5,, Institut für Mikroelektronik, Germany,, 實(shí)際高度:6 nm |
OLS4100 的高動態(tài)范圍(HDR)功能結(jié)合了多張以不同曝光率獲取的光學(xué)顯微鏡影像,,并且分別控制著亮度、對比度,、紋理和飽和度,因此HDR 可以以寬動態(tài)范圍處理影像。OLS4100 尤其可以對紋理不明顯的樣品的彩色影像進(jìn)行清晰地觀察,。
無HDR 的彩色影像 (致密的織物、物鏡20x,、變焦1x) | 有HDR 的彩色影像 (致密的織物,、物鏡20x,、變焦1x) |
算法 |
復(fù)合減震機(jī)構(gòu) | 為了排除來自外部的影響,穩(wěn)定測量和成像,,OLS4100 機(jī)座內(nèi)置了由螺旋彈簧和阻尼橡膠組成的"復(fù)合減震機(jī)構(gòu)"以穩(wěn)定操作環(huán)境,。所以,可以把OLS4100 放在普通的桌子進(jìn)行測量作業(yè),不需要專用的防震平臺。 |
使用LEXT OLS4100,只需將樣品放置在載物臺上之后即可立即開始觀察/測量,。由于采用了簡易的三步流程——成像,、測量和報表——即使用戶不熟悉激光顯微鏡,,也可以快速掌握測量的流程。
OLS4100 的宏觀圖功能可以以低倍率顯示大范圍影像,,并在宏觀影像上顯示一個矩形觀察標(biāo)記,。該視場可以通過拼圖設(shè)置為傳統(tǒng)視場的441 倍。當(dāng)配合電動六孔物鏡轉(zhuǎn)換器時,,宏觀圖功能可以對載物臺移動和倍率更改實(shí)現(xiàn)平滑,、便捷的一鍵操作???/p>
以精確預(yù)設(shè)齊焦和確定物鏡的中心,并可通過一鍵移動載物臺和調(diào)整倍率進(jìn)行同步,。
掃描大面積區(qū)域時有兩種拼接方法可用:獲取實(shí)時影像時的手動模式和快速獲取影像時的自動模式,。操作非常快速簡單——2D 拼接只需一鍵操作即可開始,,并且可立即獲得大面積的拼接影像,。自動模式下有五級拼接尺寸可用,分別為:3×3,、5×5,、7×7、9×9 和21×21,。對于影像上不需要的部分,,可以使用簡單的鼠標(biāo)或控制桿操作手動刪除。 |
傳統(tǒng)的3D 掃描需要復(fù)雜的設(shè)置,,這對新手來說非常困難,。LEXT OLS4100 采用了全新的智能掃描模式,即使是初次使用的用戶也只需一鍵操作即可快速獲取3D 影像,。除了上下限的設(shè)置,,系統(tǒng)也會根據(jù)要獲取的影像自動設(shè)置合適的亮度。這讓即使是初次使用的用戶也能獲得精確的高度測量和優(yōu)質(zhì)的影像,。
3D 成像
自動亮度控制 | |
平面上的亮度控制 | 一定高度范圍內(nèi)的亮度控制,。 |
大大縮短了獲取時間
新的超快模式獲取掃描影像的速度是傳統(tǒng)快速模式的2 倍,約是精細(xì)模式的9 倍,。因此,,對于那些需要非常精細(xì)的Z 軸移動和極高的放大倍率的樣品,該模式就非常地適用,,例如對刀具的尖端進(jìn)行檢測,。
相同時間內(nèi)獲取的影像數(shù)量:
實(shí)際的掃描時間根據(jù)所用倍率和Z 獲取范圍而有所不同,。
OLS4100 還配備了帶寬掃描模式,用于測量有限的目標(biāo)區(qū)域,,測量性能比傳統(tǒng)模式快1/8,。
全局掃描獲取 | 帶寬掃描獲取(1/8) |
在宏觀圖中,,要觀察的區(qū)域可以從大范圍的視圖中進(jìn)行指定,。在自動模式中,通過設(shè)置*多625 幅影像的矩形拼接尺寸,,可以自動生成區(qū)域圖,,所需的時間大約只需要通常的一半。下一步,,在區(qū)域圖上指定所需的影像并立即開始觀察,。
拼接區(qū)域:方形(21×3)63 片 | 拼接區(qū)域:圓形(3 點(diǎn)) |
在實(shí)時模式中,通過在屏幕上跟蹤所需的區(qū)域,,可以手動選擇要觀察的區(qū)域,。當(dāng)觀察的樣品具有不規(guī)則的形狀時,該功能非常實(shí)用,。
要使用智能掃描模式獲取影像時,,只需一鍵操作即可。由于智能掃描會自動調(diào)整Z 軸方向的設(shè)置,,Z 軸方向的影像獲取可以僅局限在所需的區(qū)域,,因此可以在進(jìn)行大范圍大功率觀察時節(jié)省很多時間。
智能掃描模式 | 傳統(tǒng)獲取模式 |
OLS4100 在測量后可使用一鍵操作創(chuàng)建報表,,而且使用編輯功能可以定制各個報表模板,。將測量結(jié)果復(fù)制和粘貼到Word 或表格應(yīng)用程序也非常簡單,就像從數(shù)據(jù)庫取回所需的影像和報表一樣,。
為用戶設(shè)計的詳細(xì)的向?qū)Чδ苋∠巳唛L的培訓(xùn),,讓新手也能快速簡單地進(jìn)行操作。
產(chǎn)品已下架,,可查看OLS系列其他產(chǎn)品,。
暫無數(shù)據(jù)!