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OLS5000 3D測(cè)量激光顯微鏡可以精確地測(cè)量亞微米級(jí)的表面形狀和粗糙度,。圖像采集速度比我們之前的型號(hào)OLS4100快四倍,,大大提高了效率。
1. 捕捉任意表面形狀,。 | ||
2. 快速獲得可靠數(shù)據(jù),。 | ||
3. 操作簡(jiǎn)單— 只需放置樣 品并按一下按鈕即可。 | ||
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優(yōu)異的平面分辨率
LEXT OLS5000 3D測(cè)量激光顯微鏡配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)(彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng))讓其能夠獲取彩色信息,、高度信息和高分辨率圖像,。405nm紫色激光和專用高數(shù)值孔徑物鏡可以捕
捉到傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡、白光干涉儀或紅色激光顯微鏡無法發(fā)現(xiàn)的精細(xì)紋理和缺陷,。
專用LEXT物鏡
我們的專用LEXT物鏡系列近期新增了提升測(cè)量性能的長(zhǎng)工作距離物鏡和普通工作距離的10倍物鏡,。所有專用LEXT物鏡的測(cè)量性能均可獲得保證。
4K掃描技術(shù)—檢測(cè)陡峭斜面和近納米級(jí)臺(tái)階的形貌
4K 掃描技術(shù)可在X軸方向掃描4096像素,,是傳統(tǒng)機(jī)型的四倍,。由此提高了高度測(cè)量的可靠性,,改善了分辨率,信噪比提升了兩倍,。OLS5000顯微鏡無需圖像處理就能檢測(cè)幾乎垂直的陡峭斜面和極低的臺(tái)階,。
可準(zhǔn)確測(cè)量高達(dá)87.5° 的大角度斜面。
快速,、精確的測(cè)量——PEAK算法
OLS5000 3D測(cè)量激光顯微鏡采用了用于 3D 數(shù)據(jù)構(gòu)建的 PEAK 算法,。該算法可獲得從低倍率到高倍率的高精度數(shù)據(jù),并可縮短數(shù)據(jù)采集時(shí)間,。
VLSI 標(biāo)準(zhǔn)樣品/ 80nm臺(tái)階 (MPLFLN10XLEXT)
簡(jiǎn)單分析
簡(jiǎn)單分析功能可僅在指定測(cè)量范圍內(nèi)測(cè)量臺(tái)階,、線寬、表面粗糙度和體積,。自動(dòng)檢測(cè)測(cè)量結(jié)果變動(dòng)的原因(如體積分析中參考平面的邊緣位置和閾值)讓測(cè)量結(jié)果保持穩(wěn)定,,不受操作員技能水平的影響。
擴(kuò)展架—可檢測(cè)**210毫米高度的樣品
載物臺(tái)上可放置**高度210毫米的樣品,。重復(fù)性和準(zhǔn)確性等測(cè)量性能均確保與標(biāo)準(zhǔn)機(jī)臺(tái)相同,。
暫無數(shù)據(jù)!