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對應多種尺寸組合

我們推出了200 mm專用型,、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（對應小于150 mm的晶圓）的3種工具顯微鏡型號,。除此以外，您還可以根據檢查模式,，選用微觀檢查專用型號"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號"LMB型",。

晶圓尺寸•厚度對應表

薄片檢查

對應薄片制造廠家的需求，AL120-LMB-90工具顯微鏡搭載的新型搬送手臂的設計可以搬運整盒25枚90 μm的極薄晶圓,。

高度實用性

進一步優(yōu)化的宏觀檢查

操作便捷

• 為了滿足各種常規(guī)檢查的要求,，AL120工具顯微鏡可以登記多達10個檢查程序,。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度,?？焖俨藛芜x擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序,。

• 晶圓搬送機的菜單設置和設置參數都會在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應SLOT,，便于操作者再次確認,。

• AL120工具顯微鏡使用非接觸光學定位、查找和對齊缺口／平面,，可以減少晶圓和設備之間的接觸,，提高晶圓的清潔度。

高度可靠性

優(yōu)先考慮晶圓和操作者的安全

• 為了能夠安全的安裝晶圓,，采用了在裝置正面放置片盒的設計,。

• 在安全性和人機工學上通過了SEMI S2/S8檢測，同時,，在環(huán)境保護方面遵守了RoHS指令,。

堅固、耐用的顯微鏡底座

AL120工具顯微鏡搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列,，通過各種觀測方法,，包括：明視場、暗視場,、微分干涉（DIC）,、近IR（近紅外線）和DUV（深紫外線），實現了**的圖像分辨率和清晰度,。電動物鏡轉換器和孔徑光闌相互鎖定,，可以優(yōu)化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制,，AL120工具顯微鏡還可以應用到其他型號的顯微鏡上,。

人機工程學設計的載物臺

• 手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率，標準功能為XY軸控制和晶圓旋轉功能,。

• 可通過操縱桿或預編程的程序控制電動載物臺,，進一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置,。