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對應(yīng)多種尺寸組合
我們推出了200 mm專用型,、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（對應(yīng)小于150 mm的晶圓）的3種工具顯微鏡型號。除此以外,，您還可以根據(jù)檢查模式,，選用微觀檢查專用型號"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號"LMB型"。
晶圓尺寸•厚度對應(yīng)表
薄片檢查
對應(yīng)薄片制造廠家的需求,，AL120-LMB-90工具顯微鏡搭載的新型搬送手臂的設(shè)計(jì)可以搬運(yùn)整盒25枚90 μm的極薄晶圓,。
背面宏觀360゜旋轉(zhuǎn)
宏觀檢查手臂可以360゜旋轉(zhuǎn)，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵,。
利用360゜旋轉(zhuǎn)功能,，完全可以目視檢查整個晶圓（包括邊緣）。此外,，在表面宏觀檢查中,，使用操縱桿可隨意將晶圓**傾斜30゜進(jìn)行觀察。
為了滿足各種常規(guī)檢查的要求,，AL120工具顯微鏡可以登記多達(dá)10個檢查程序,。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度,?？焖俨藛芜x擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。
晶圓搬送機(jī)的菜單設(shè)置和設(shè)置參數(shù)都會在新型的LCD顯示器上顯示,。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應(yīng)SLOT,，便于操作者再次確認(rèn)。
AL120工具顯微鏡使用非接觸光學(xué)定位,、查找和對齊缺口／平面,，可以減少晶圓和設(shè)備之間的接觸，提高晶圓的清潔度,。
為了能夠安全的安裝晶圓,，采用了在裝置正面放置片盒的設(shè)計(jì)。
在安全性和人機(jī)工學(xué)上通過了SEMI S2/S8檢測,，同時,，在環(huán)境保護(hù)方面遵守了RoHS指令。
AL120工具顯微鏡搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列,，通過各種觀測方法,，包括：明視場、暗視場,、微分干涉（DIC）,、近IR（近紅外線）和DUV（深紫外線），實(shí)現(xiàn)了**的圖像分辨率和清晰度,。電動物鏡轉(zhuǎn)換器和孔徑光闌相互鎖定,，可以優(yōu)化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制,，AL120工具顯微鏡還可以應(yīng)用到其他型號的顯微鏡上,。
手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率，標(biāo)準(zhǔn)功能為XY軸控制和晶圓旋轉(zhuǎn)功能,。
可通過操縱桿或預(yù)編程的程序控制電動載物臺,，進(jìn)一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅(qū)動載物臺返回或離開load/unload位置及原點(diǎn)位置,。
暫無數(shù)據(jù)！
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