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PS4L 手動(dòng)探針臺(tái)
SemiProbe的手動(dòng)探針臺(tái)是模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)*明顯和*靈活的300mm手動(dòng)探針臺(tái),。它采用了SemiProbe****技術(shù)Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提供了****的靈活性和大大地節(jié)省了設(shè)備資金費(fèi)用,。PS4L系列探針臺(tái)滿足了客戶對(duì)規(guī)格參數(shù)精準(zhǔn)的要求,。.
晶圓探針系統(tǒng)的PS4L系列探針臺(tái)是基于SemiProbe****技術(shù)Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)而設(shè)計(jì)的。與傳統(tǒng)的探針臺(tái)相比,，SemiProbe的PS4L系列探針臺(tái)中所有的基礎(chǔ)模塊-基座,，平臺(tái)，卡盤,，顯微鏡裝置,，顯微鏡移動(dòng),，光學(xué)組件，操縱器等等都是可以更換的,。這樣的特點(diǎn)使得PS4L系列探針臺(tái)以非常有競(jìng)爭(zhēng)力的價(jià)格滿足了多種應(yīng)用需求和預(yù)算要求,，為客戶提供了非常經(jīng)濟(jì)適用以及**的解決方案,。獨(dú)特的模塊化設(shè)計(jì)使得客戶可獲得測(cè)試性能精準(zhǔn)地滿足了他們的要求,。更重要的是，PS4L可隨著測(cè)試環(huán)境和測(cè)試條件的改變從而輕易地進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)以滿足新的要求,。比起傳統(tǒng)的探針臺(tái),，這樣的設(shè)計(jì)理念使得即使當(dāng)晶圓尺寸,，自動(dòng)化的程度或者測(cè)試要求發(fā)生改變時(shí),，PS4L也無需重新更換新的平臺(tái)，便可用*短的時(shí)效和*經(jīng)濟(jì)的費(fèi)用完成***的測(cè)試,。
SemiProbe M12探針臺(tái)可有完整的整套附件可選,，包括探針卡，操縱器,，操縱臂和基座,，探針，激光,，光學(xué)部件,，CCTV系統(tǒng)，隔振臺(tái),，暗箱等等,。
產(chǎn)品特征和優(yōu)勢(shì)：
1.可現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)，300mm手動(dòng)探針臺(tái)可升級(jí)為450mm手動(dòng)探針臺(tái)
2.可現(xiàn)場(chǎng)升級(jí),，300mm手動(dòng)探針臺(tái)可升級(jí)為450mm半自動(dòng)探針臺(tái)
3.所有關(guān)鍵部件都是可以更換的,，這樣使得系統(tǒng)更便于配置滿足各種應(yīng)用需求和預(yù)算要求-無論是現(xiàn)在還是未來
4.軟件和硬件模塊提供了**性的現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)功能
主要應(yīng)用/服務(wù)市場(chǎng)：
設(shè)備特性，MEMS,，光電,，高頻/微波，光伏,，失效分析,，光伏，材料科學(xué)等等
規(guī)格參數(shù)
| 尺寸 | 1200mm X 550 mm X 900 mm (47.3” X 21.6” X 35.4”) (W,，H,， L) – with optics |
| 重量 | 250Kg (550 lbs.) - Vibration Isolation (table and frame) |
| 卡盤平臺(tái) X-Y 移動(dòng) | Severalstages to select from to meet performance and budget requirements Travel:305 mm x 305 mm Planarity:+/- 10 μm over travel range Resolution:5 μm IndependentX and Y linear movement |
| 卡盤平臺(tái)Z 移動(dòng) | ZTravel: 10 mm ZContact/Separation Stroke: 4 mm adjustable |
| Theta移動(dòng) | Travel:360 degrees |
| 卡盤 | Vacuumor mechanical clamping， round or square,， ambient,， thermal and custom Handledie,， waffle packs， sawn wafers on frame,， broken wafers and full wafers up to300 mm Nickelplated steel with concentric vacuum rings (standard),， other plating materialsavailable Planarity:15 μm |
| 壓盤 | Aluminumwith stainless steel top 360degree manipulator placement Manipulatorfixation – magnetic， vacuum |
| 壓盤移動(dòng) | PlatenLift: Choice of fixed or adjustable Adjustable:Coarse - 25 mm,， Fine – 6 mm |
| 顯微鏡裝置/移動(dòng) | Mounting – Boom,， Post or Bridge Movement – Manual or Programmable – 50 x 50 mm， 50 x 75 mm,， 100 x 100 mm |
| 光學(xué)組件 | StereoZoom,， Zoom Tube， A-Zoom or Compound Microscope |
| 其它工具 | Power:AC 110/220V AC 50-60 Hz 20A Vacuum:23 Hg or -0.8 bar |
暫無數(shù)據(jù),！
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