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主動減振臺-減振臺-HERZ
主動隔振系統(tǒng)是通過持續(xù)感應輸入振動并動態(tài)消除來運作,。在每個系統(tǒng)中,，至少有六個振動傳感器，壓電加速度計,，用于感應檢測儀器的振動,。它們的信號被送入中央處理器，該中央處理器將信號整合起來,，并向執(zhí)行器發(fā)送一個消除信號,。舊的執(zhí)行器是音圈執(zhí)行器（揚聲器）；新的執(zhí)行器是壓電傳感器,，其產(chǎn)生的振動與輸入振動相等且異相,，消除了輸入的振動,。有一組彈簧支撐系統(tǒng)，提供被動隔振,。該系統(tǒng)具有反饋回路,，可以抑制系統(tǒng)的結構共振。該反饋回路消除了每個被動隔振系統(tǒng)中出現(xiàn)的低頻共振和附帶共振,。
HERZ主動隔振系統(tǒng)具有以下優(yōu)點：
- 無低頻共振
- 低頻隔振
- 內部反饋回路抑制所有機械共振
- 六自由度隔振（而不僅僅是X,， Y， 和Z)
- 反饋系統(tǒng)不需要調整到振動水平
- 響應時間5 ~ 20 毫秒
- 不需要空氣
- 緊湊型
主要應用于：
原子力顯微鏡
掃描探針顯微鏡
干涉測量
熒光顯微鏡
摩擦學和納米壓痕測試
高精度測量
高分辨率顯微鏡
輪廓測量
試管受精
此外,，TS系列還有多個升級選項可供選擇,，如：
工作臺集成
（包括架子，監(jiān)控器支架,，鍵盤托盤等）
隔音箱集成
(如靜噪器,，AEK-2002及定制隔音設備)
定制面板尺寸及材料
（通常為阻尼鋁板，面板可定制不銹鋼,，鐵磁鋼,，可打孔）
振動器集成（激勵源）
遠程顯示
（重量分布，內部電機調平,，X/Y/Z軸振動水平,，啟動/關閉組件，開關隔振臺）
遠程電源
（免受電磁噪音或熱量干擾）
暫無數(shù)據(jù),！
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