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Digital Holographic Microscopy (DHM) generates,, in real-time, high resolution 3D digital images of a sample using the principle of holography. DHM R1000 series Cost-effective sub-nanometer resolution in real-time.
儀器簡(jiǎn)介
瑞士Lyncee tec公司的材料3D實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)顯微鏡DHM R1000 “DHM(Digital Holographic Microscopy)主要應(yīng)用是在MEMS研發(fā)中用于測(cè)量工作,,以及在生產(chǎn)線用于缺陷檢測(cè),。與上述用途中現(xiàn)在經(jīng)常使用的共焦顯微鏡相比,在同行分辨率下能夠更高速地進(jìn)行測(cè)量,。垂直方向的分辨率為0.6nm,,水平方向?yàn)?/span>200nm~300nm(取決于物鏡),。使用1.25倍率的物鏡時(shí)視野為4mm×4mm,可以15幀/秒的速度進(jìn)行測(cè)量,。因此,,25px見(jiàn)方的試樣幾分鐘即可完成觀察。使用現(xiàn)有共焦顯微鏡時(shí),,同等范圍的觀察則需要幾個(gè)小時(shí)~10小時(shí),。此外產(chǎn)品**可將觀察速度擴(kuò)展至1萬(wàn)幀/秒。由于攝影速度快,,因此不需減震臺(tái),,可用來(lái)檢測(cè)流水線上的產(chǎn)品。
照射到試料上的光線與參照光產(chǎn)生的干涉圖案使用CCD相機(jī),,作為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)保存下來(lái),,由此算出三維數(shù)據(jù)。計(jì)算三維數(shù)據(jù)時(shí)使用的是專用軟件“Koala Software”,。
主要特點(diǎn):
·非接觸式3D成像
·可進(jìn)行相位測(cè)量
·自動(dòng)相干補(bǔ)償
·高分辨,、實(shí)時(shí)測(cè)量
技術(shù)規(guī)格
系統(tǒng)
·測(cè)量技術(shù): 單波長(zhǎng)透射式數(shù)字全息顯微鏡
·成像類型: 強(qiáng)度及定量相差 (DHM模式)
·光 源: 單波長(zhǎng)激光
·樣品臺(tái): 手動(dòng)或自動(dòng)XYZ平臺(tái), 行程200mm××100mm×15mm
·相 機(jī): 1392×1040像素,, 8bits
·有效物鏡: 標(biāo)準(zhǔn)顯微物鏡,, 長(zhǎng)工作距離物鏡, 油鏡或水鏡
性能
·縱向分辨率: 10nm
·垂直測(cè)量范圍: 可達(dá)340nm (取決于樣品)
·橫向分辨率: 300nm (1.4NA)
·視場(chǎng)范圍: 4.4mm
·工作距離: 0.3~18mm
·數(shù)字聚焦范圍: 達(dá)到50倍場(chǎng)深
·抓圖時(shí)間: 小于1us
·空間采樣: 1024×1024像素
·采樣速率: 15fps (1024×1024像素)
·單波長(zhǎng)重建速率:15fps (512×512像素),, 4fs(1024×1024像素)
·樣品照明: 小于1uW/cm2
·**樣品尺寸: 200mm×200mm
電源要求
·輸入電壓: 85-260VAC,, 50/60Hz
·功率: 480W
重量&尺寸
·顯微鏡部分: 500×500×500mm&34.5kg
暫無(wú)數(shù)據(jù)!