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膜厚測(cè)量?jī)x
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產(chǎn)品特點(diǎn):

? 薄膜到厚膜的測(cè)量范圍、UV~NIR光譜分析。

? 高性能的低價(jià)光學(xué)薄膜測(cè)量?jī)x,。

? 藉由**反射率光譜分析膜厚,。

? 完整繼承FE-3000高端機(jī)種90%的強(qiáng)大功能。

? 無(wú)復(fù)雜設(shè)定,,操作簡(jiǎn)單,,短時(shí)間內(nèi)即可上手。

? 非線性*小平方法解析光學(xué)常數(shù)(n:折射率,、k:消光系數(shù)),。

產(chǎn)品規(guī)格:

型號(hào)FE-300VFE-300UVFE-300NIR
對(duì)應(yīng)膜厚標(biāo)準(zhǔn)型薄膜型厚膜型超厚膜型
樣品尺寸**8寸晶圓(厚度5mm
膜厚范圍100nm~40μm10nm~20μm3μm~30μm15μm~1.5mm
波長(zhǎng)范圍450nm~780nm300nm~800nm900nm~1600nm1470nm~1600nm
膜厚精度±0.2nm以內(nèi)±0.2nm以內(nèi)--
重復(fù)再現(xiàn)性(2σ)0.1nm以內(nèi)0.1nm以內(nèi)--
測(cè)量時(shí)間0.1s10s以內(nèi)
測(cè)量口徑Φ3mm
光源鹵素?zé)?/span>UV用D2鹵素?zé)?/span>鹵素?zé)?/span>
通訊界面USB
尺寸重量280W×570D×350Hmm,約24kg
軟件功能
標(biāo)準(zhǔn)功能波峰波谷解析,、FFT解析,、*適化法解析、*小二乘法解析
選配功能材料分析軟件,、薄膜模型解析,、標(biāo)準(zhǔn)片解析

應(yīng)用范圍:

? 半導(dǎo)體晶圓膜(光阻、SOI,、SiO2等)

? 光學(xué)薄膜(OC膜,、AR膜、ITO,、IZO膜等)

應(yīng)用范例:

? PET基板上的DLC膜

? Si基板上的SiNx

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售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

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