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----源自荷蘭飛利浦
Phenom Pro 放大倍數100,,000倍,,分辨率優(yōu)于17nm,30秒快速得到表面細節(jié)豐富的優(yōu)質顯微像,。是一款功能齊全的高分辨率臺式掃描電鏡,,可用于測量亞微米或納米尺寸的樣品。Phenom Pro可選配豐富的拓展功能選件Phenom Pro Suite,,如三維粗糙度重建,、纖維直徑和孔洞面積(孔隙率)統(tǒng)計分布、高倍拼圖,、遠程控制操作等,。
PhenomPro臺式掃描電鏡 專業(yè)版 —— 智能、高效,、多功能 ? 放大倍數:20×-100,,000× ? 分辨率:優(yōu)于17nm ? 電子槍:1500小時CeB6燈絲 ? 抽真空時間:10秒 ? 樣品移動方式:自動馬達樣品臺 ? 樣品定位方式:光學和低倍電子雙重導航 ? 樣品導電性要求:無需噴金,直接觀測絕緣體 ? 拓展功能:3D粗糙度重建,、纖維統(tǒng)計測量,,高倍拼圖等 ? 環(huán)境掃描選件(ESEM):溫控樣品臺,可直接觀測液體 Phenom Pro (臺式掃描電鏡 專業(yè)版) 采用壽命高達1500小時的新一代CeB6燈絲和分辨率更高,,功能更全的光學顯微鏡,,提高后的光學顯微鏡有聚焦功能,放大倍數在20-120倍之間,,具備明場和暗場兩種模式,。 |
表面細節(jié)豐富的高分辨率照片 | ||
Phenom Pro 為您提供高信噪比,、表面細節(jié)豐富的優(yōu)質圖像: | ||
? 20×-100,000×連續(xù)放大,,分辨率優(yōu)于17nm,,大景深; | ||
? 信號較少的鎢燈絲電鏡通過提高加速電壓來產生更多信號,,密度較小的樣品會因為電子穿透過深而導致表面細節(jié)缺失,。信號是鎢燈絲10倍以上的CeB6在低 | ||
電子穿透深度淺,避免樣品被破壞,,展現更多表面細節(jié),; | ||
? 探測背散射電子,展現清晰形貌結構的同時,,提供豐富的成份信息,; | ||
左圖:5kV低加速電壓下,電子反應區(qū)位于樣品表面,,配合高亮度CeB6燈絲,,既保證了分辨率,又得到樣品表面的信息,; 右圖:15kV高加速電壓下,,電子穿透深度較深,表面細節(jié)丟失 | CeB6燈絲在樣品表面單位面積內激發(fā)的信號約是鎢燈絲的10倍,,適合于低加速電壓觀測 |
表面形貌和成分信息同時展現 | |
背散射電子的產率,、出射角度與樣品成份及表面形貌相關。Phenom采用4分割半導體背散射電子探測器,,為您提供兩種成像模式,,模式之間可迅速切換: | |
? 成份模式:同時給出樣品表面形貌與成份信息,不同元素可由其灰度對比度的不同加以分辨 | |
? 形貌模式:去除成份信息,,樣品表面凹凸起伏等微觀結構更加明晰,,適用于表面粗糙度和缺陷分析 | |
成份模式4分割背散射電子探測器扇區(qū)所得的信號相疊加 | 形貌模式4分割背散射電子探測器扇區(qū)所得的信號相抵消 |
成份模式圖像包含樣品成份與形貌信息 | 形貌模式圖像僅突出樣品表面形貌特征 |
**樣品杯,30秒快速成像 | |
Phenom**樣品杯,、低真空設計,、**的真空封鎖技術,裝入樣品后30秒內即可得到高質量圖像,,耗時僅為傳統(tǒng)電鏡的1/10左右,。 |
直接觀看絕緣體,無需噴金 |
Phenom采用低真空技術,,出射電子與空氣分子碰撞產生正離子,,正離子與樣品表面累積的電子中和,有效抑制荷電效應的產生,,直接觀測各種不導電樣品(如下圖所示),。 利用降低荷電效應樣品杯,,更可將開始荷電的放大倍數提高8倍左右,而且不會影響燈絲壽命,,下圖頭發(fā)示例: |
操作簡便,,全程導航 | ||
? 自動/手動聚焦 | Phenom操作界面。通過點擊右側圖標可以輕松完成圖像縮放,、聚焦,、亮度對比度調節(jié)、旋轉等操作,。界面右側顯示光學導航和低倍SEM導航窗口,,方便用戶在不同樣品、不同區(qū)域間進行切換,。 | |
? 自動/手動亮度 | ||
? 自動/手動對比度 | ||
? 自動燈絲居中調節(jié) | ||
? 自動馬達樣品臺 | ||
? 光學/電子樣品導航 |
光學導航,,所有帶觀測樣品盡在視野之中,高倍下準確切換樣品,,只需點擊感興趣樣品,,即可自動移動到屏幕中央 | |
低倍SEM照片導航,導航窗口中的彩色矩形框指示了住觀測窗口的觀測區(qū)域,,點擊感興趣的區(qū)域,,自動移動到樣品中央。 |
環(huán)境適應性高,,完全防震 |
Phenom可以放置在幾乎所有的室內環(huán)境當中,,無需超凈間,。采用燈絲,、探測器、樣品臺相對一體化的設計,,震動不會引起三者間的相對運動,,使Phenom成像不受震動影響,可放置在較高樓層,。 |
互聯網遠程檢測 |
Phenom擁有遠程檢測功能,,通過網絡,專業(yè)工程師可隨時為您遠程檢測系統(tǒng),、答疑解難,,為您提供全方位的保護,讓您的Phenom隨時處于**工作狀態(tài),。 |
豐富的拓展功能選件 |
適用于不同領域的樣品杯選件 |
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