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工作原理 離子減薄制樣技術(shù)屬于離子束加工范疇,。其方法是用高能離子束轟擊樣品表面,、高能離子與樣品表面原子發(fā)生彈性碰撞、樣品表面原子能量增大至高于該原子逸出功時(shí),,便飛離樣品,,從而使樣品逐漸減薄。離子減薄儀通常用雙槍從樣品兩側(cè)轟擊,。樣品隨著支架旋轉(zhuǎn),,使得離子束轟擊均勻,。 產(chǎn)品描述 GL2011型離子減薄儀由國(guó)內(nèi)頂尖專(zhuān)家精心設(shè)計(jì)制作,性能穩(wěn)定,,應(yīng)用廣泛,,可對(duì)金屬、非 金屬,、陶瓷,、礦物、半導(dǎo)體,、骨骼,、牙齒等幾乎所有固體材料進(jìn)行精密減薄處理。 產(chǎn)品特點(diǎn)
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技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱(chēng) | 離子減薄儀 |
離子束加速電壓 | 0-10KV 連續(xù)可調(diào) |
**束流密度 | 大于 200μA/cm |
減薄速度 ( 銅) | 30μ/h(**) |
樣品對(duì)離子束的傾角 | 5-90°(普通臺(tái)) 0-90°(精細(xì)拋光臺(tái)) |
真空度 | 5×10-3Pa(不送氣) |
離子束對(duì)樣品的*小傾角 | 7°(普通試樣臺(tái)) 2°(拋光試樣臺(tái)) |
案例:超薄鋁箔離子減薄效果
減薄15微米 | |
減薄20微米 | |
減薄25微米 | |
案例說(shuō)明: 樣品為約100u的鋁箔,表面為鋁的氧化物,。用化學(xué)方法或者物理摩擦的方法減薄,,都會(huì)非常明顯的破壞樣品表面形貌,甚至改變樣品化學(xué)成分,。 使用GL-2011型離子減薄儀減薄后,,在電子顯微鏡下可以觀(guān)察到,樣品沒(méi)有任何變形,,而且獲得**清晰的樣品圖像,。 |
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