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P-752高精度納米定位平臺(tái)

P-752高精度納米定位平臺(tái)

應(yīng)用領(lǐng)域

• 掃描顯微鏡

• 測(cè)量技術(shù)

• 測(cè)試程序和質(zhì)量保證

• 光子

• 光纖定位

帶電容式傳感器,，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性,、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬,。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換,。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中,。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長(zhǎng)使用壽命

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣,。這可以防潮,，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍,。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán),。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦,、無磨損,，無需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力,，且它們對(duì)振動(dòng)和沖擊不敏感,。它們真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作,。

直接位置測(cè)量帶來**精度

運(yùn)動(dòng)直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量,，完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊憽＿@樣可以實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的重復(fù)精度,、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性,、快速響應(yīng)控制。

德國(guó)Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年,，一直致力于微米與納米定位技術(shù)的研發(fā)與制造,。PI代表著技術(shù)性能，定位精度可達(dá)納米,。PI可獲得的組件獨(dú)立于市場(chǎng)上,，并提供超越現(xiàn)有技術(shù)水平的單獨(dú)解決方案,。高度的靈活性為PI的客戶提供了顯著的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),。 Physik Instrumente提供了超越全球競(jìng)爭(zhēng)的技術(shù)范圍和垂直生產(chǎn)范圍。然而,，PI重要的關(guān)注是通過定位解決方案不斷地激勵(lì)客戶,。今天，無論是在計(jì)量,、顯微,，生命科技，還是激光技術(shù)，精密加工技術(shù),；無論是半導(dǎo)體科技,，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)技術(shù)，還是光電子/光纖,，天文等領(lǐng)域,，PI的產(chǎn)品和技術(shù)正得到越來越廣泛的應(yīng)用，也贏得了越來越廣泛的贊譽(yù),。 Physik Instrumente (PI)主要產(chǎn)品： 線性平臺(tái)和執(zhí)行器 電動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)和測(cè)角器 XY平臺(tái) 六足/平行運(yùn)動(dòng) XYZ掃描儀 Z-/傾斜平臺(tái),，提示/傾斜鏡和有源光學(xué) 陶瓷部件 壓電陶瓷組件 壓電陶瓷執(zhí)行器 控制器和驅(qū)動(dòng)器 空氣軸承導(dǎo)向系統(tǒng) 主要型號(hào)： E-709、E-609,、E-753,、E-610、E-621,、E-625,、E-500、E-725,、N-216,、N-111、N-310,、U-264,、N-422、P-601,、P-602,、P-603、P-604,、C-867,、E-871、E-861,、E-755,、C-663、C-885,、C-843,、C-884、C-863,、LPS-45,、LPS-23、LPS-24,、M-664,、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11,、P-882.31,、P-882.51、P-883.11,、P-883.31 ,、P-883.51、P-885.11,、P-885.31,、P-885.51、P-885.91