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N-216小型大行程納米促動器
N-216小型大行程納米促動器

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德國

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北京泰坤工業(yè)設(shè)備有限公司

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小型大行程納米促動器

小型大行程納米促動器

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 工業(yè)級精度定位

  • 半導(dǎo)體技術(shù)

  • 半導(dǎo)體測試

  • 晶圓檢測

  • 平版印刷術(shù)

  • 納米壓印

  • 納米測量

  • 強磁場和真空中運動

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應(yīng),、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響,。

小型大行程納米促動器

采用PiezoWalk步進驅(qū)動實現(xiàn)納米精度和大進給力

數(shù)個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進驅(qū)動中執(zhí)行步進運動,將動輪向前推進,。促動器控制允許以遠低于一納米的分辨率進行*小步進和推進運動,。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

PI的壓電電機原則上是真空兼容的,,并且適合在強磁場中運行。驅(qū)動器的特殊版本適于此目的,。壓電陶瓷步進驅(qū)動器還可用于有較強紫外線輻射的無塵室或環(huán)境中,。

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