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工業(yè)級精度定位
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強磁場和真空中運動
非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置,。非線性效應(yīng)、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響,。
小型大行程納米促動器
數(shù)個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動中執(zhí)行步進(jìn)運動,,將動輪向前推進(jìn)。促動器控制允許以遠(yuǎn)低于一納米的分辨率進(jìn)行*小步進(jìn)和推進(jìn)運動。
PI的壓電電機原則上是真空兼容的,,并且適合在強磁場中運行,。驅(qū)動器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動器還可用于有較強紫外線輻射的無塵室或環(huán)境中,。
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