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小型大行程納米促動器
數(shù)個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進驅動中執(zhí)行步進運動,，將動輪向前推進,。促動器控制允許以遠低于一納米的分辨率進行*小步進和推進運動。
PI的壓電電機原則上是真空兼容的,，并且適合在強磁場中運行,。驅動器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進驅動器還可用于有較強紫外線輻射的無塵室或環(huán)境中,。
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