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工業(yè)級精度定位
半導(dǎo)體技術(shù)
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晶圓檢測
平版印刷術(shù)
納米壓印
納米測量
強磁場和真空中運動
非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應(yīng),、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響,。
小型大行程納米促動器
數(shù)個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進驅(qū)動中執(zhí)行步進運動,將動輪向前推進,。促動器控制允許以遠低于一納米的分辨率進行*小步進和推進運動,。
PI的壓電電機原則上是真空兼容的,,并且適合在強磁場中運行。驅(qū)動器的特殊版本適于此目的,。壓電陶瓷步進驅(qū)動器還可用于有較強紫外線輻射的無塵室或環(huán)境中,。
暫無數(shù)據(jù)!