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六軸并聯(lián)定位臺,納米/微米定位臺,,壓電促動器
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無軸間運動串擾和誤差累計

低運動慣量,,高結(jié)構(gòu)剛度

可自由設(shè)定旋轉(zhuǎn)中心

特殊設(shè)計可承受1000公斤以上負載

納米定位臺

從1軸到6軸運動

并聯(lián)運動和并聯(lián)測量技術(shù)

保持記錄的高**精度與重復精度

可選電容傳感器**可達0.02nm閉環(huán)分辨率

定制型號可選擇銦鋼、鈦等不同材料

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從1軸到6軸的直線與旋轉(zhuǎn)運動

直線電機/陶瓷電機/步進/直流伺服

獨有的大行程納米定位技術(shù)

力矩電機+氣浮軸承超高精度轉(zhuǎn)臺

直線臺/升降臺/旋轉(zhuǎn)臺/搖擺臺/多軸臺

壓電陶瓷/壓電促動器

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亞納米級位移分辨率,微秒級響應時間

輸出力**可達50000N

無機械空回,,無靜摩擦和滑動摩擦

不受磁場干擾,,提供真空、低溫兼容產(chǎn)品

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1維至2維超快可控偏擺運動

光學偏擺范圍**可達120mrad

超快響應時間,,超高角度定位精度

大量用于光學追蹤,、掃描、穩(wěn)像等應用

可根據(jù)用戶的不同需求進行定制

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壓電陶瓷電機/直線電機/步進/直流伺服

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PiezoWalk系列超小尺寸高速運動

可根據(jù)不同推力、行程,、速度和精度要求進行定制

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單系統(tǒng)1軸到6軸,,以及多軸串接

模擬和數(shù)字多種內(nèi)部結(jié)構(gòu)可選

RS232,,USB,TCP/IP等多種計算機接口

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