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六軸并聯(lián)定位臺,,納米/微米定位臺,,壓電陶瓷/壓電促動器,壓電偏擺鏡,,壓電控制器,,直線電機(jī)/直線促動器,電容位置傳感器
六軸并聯(lián)定位臺 六自由度高精度并聯(lián)運(yùn)動 無軸間運(yùn)動串?dāng)_和誤差累計 低運(yùn)動慣量,,高結(jié)構(gòu)剛度 可自由設(shè)定旋轉(zhuǎn)中心 特殊設(shè)計可承受1000公斤以上負(fù)載 | |
納米定位臺 從1軸到6軸運(yùn)動 并聯(lián)運(yùn)動和并聯(lián)測量技術(shù) 保持記錄的高**精度與重復(fù)精度 可選電容傳感器**可達(dá)0.02nm閉環(huán)分辨率 定制型號可選擇銦鋼,、鈦等不同材料 | |
微米定位臺 從1軸到6軸的直線與旋轉(zhuǎn)運(yùn)動 直線電機(jī)/陶瓷電機(jī)/步進(jìn)/直流伺服 獨(dú)有的大行程納米定位技術(shù) 力矩電機(jī)+氣浮軸承超高精度轉(zhuǎn)臺 直線臺/升降臺/旋轉(zhuǎn)臺/搖擺臺/多軸臺 | |
壓電陶瓷/壓電促動器 **壓電陶瓷技術(shù),高可靠性,,長壽命 亞納米級位移分辨率,,微秒級響應(yīng)時間 輸出力**可達(dá)50000N 無機(jī)械空回,無靜摩擦和滑動摩擦 不受磁場干擾,,提供真空,、低溫兼容產(chǎn)品 | |
壓電偏擺鏡 1維至2維超快可控偏擺運(yùn)動 光學(xué)偏擺范圍**可達(dá)120mrad 超快響應(yīng)時間,超高角度定位精度 大量用于光學(xué)追蹤,、掃描,、穩(wěn)像等應(yīng)用 可根據(jù)用戶的不同需求進(jìn)行定制 | |
直線電機(jī)/直線促動器 壓電陶瓷電機(jī)/直線電機(jī)/步進(jìn)/直流伺服 PiezoWalk技術(shù)提供毫米級運(yùn)動行程和亞納米級分辨率,大推力,,可自鎖 PiezoWalk系列超小尺寸高速運(yùn)動 可根據(jù)不同推力,、行程、速度和精度要求進(jìn)行定制 | |
壓電控制器 單系統(tǒng)1軸到6軸,,以及多軸串接 模擬和數(shù)字多種內(nèi)部結(jié)構(gòu)可選 RS232,,USB,TCP/IP等多種計算機(jī)接口 先進(jìn)的低噪聲驅(qū)動和高級控制算法 提供控制界面和二次開發(fā)包,,支持LabView,, C++, VC,, VB,, Delphi, Matlab等 | |
微米定位系統(tǒng)控制器 單通道及多通道系統(tǒng) 微步控制/混合控制/實時差補(bǔ)/并行控制 RS232,,USB,,TCP/IP,CAN等多種接口 多通道系統(tǒng)多種控制網(wǎng)絡(luò)方式可選 提供控制界面和二次開發(fā)包,,支持LabView,, C++, VC,, VB,, Delphi, Matlab等 | |
電容位置傳感器 位置、運(yùn)動,、振動的非接觸測量 量程從10微米到1000微米 皮米級位移分辨率,,10KHz的帶寬 耐高溫,長時間穩(wěn)定性(<0.1nm/3h) 無磁及真空環(huán)境兼容 |
暫無數(shù)據(jù),!