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PIMars納米定位平臺

應用領域

• 掃描顯微鏡

• 掩模/晶圓定位

• 干涉測量

• 測量技術

• 生物技術

• 掃描和篩選

帶電容式傳感器,，實現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量,，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性,、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬,。

自動配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換,。所有伺服和線性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中,。每當控制器啟動時，數字控制器的自動校準功能就會使用這些數據,。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用,。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實現極低的排氣率,。

PIMars納米定位平臺

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣,。這可以防潮,，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達十倍,。它們被證明可實現無故障運行1000億個循環(huán),。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦,、無磨損,，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力,，且它們對震動和沖擊不敏感不敏感,。它們真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作,。

并聯位置測量實現納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進行了測量,。對其他軸的不良運動串擾均可得到實時主動補償（取決于帶寬）（主動導向）。即使在動態(tài)操作中,，跟蹤精度也可高達納米級,。

德國Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米與納米定位技術的研發(fā)與制造,。PI代表著技術性能,，定位精度可達納米。PI可獲得的組件獨立于市場上,，并提供超越現有技術水平的單獨解決方案,。高度的靈活性為PI的客戶提供了顯著的競爭優(yōu)勢。 Physik Instrumente提供了超越全球競爭的技術范圍和垂直生產范圍,。然而,，PI重要的關注是通過定位解決方案不斷地激勵客戶。今天,，無論是在計量,、顯微，生命科技,，還是激光技術,，精密加工技術；無論是半導體科技,，數據存儲技術,，還是光電子/光纖，天文等領域,，PI的產品和技術正得到越來越廣泛的應用,，也贏得了越來越廣泛的贊譽。 Physik Instrumente (PI)主要產品： 線性平臺和執(zhí)行器 電動旋轉平臺和測角器 XY平臺 六足/平行運動 XYZ掃描儀 Z-/傾斜平臺,，提示/傾斜鏡和有源光學 陶瓷部件 壓電陶瓷組件 壓電陶瓷執(zhí)行器 控制器和驅動器 空氣軸承導向系統(tǒng) 主要型號： E-709,、E-609,、E-753、E-610,、E-621、E-625,、E-500,、E-725、N-216,、N-111,、N-310、U-264,、N-422,、P-601、P-602,、P-603,、P-604、C-867,、E-871,、E-861、E-755,、C-663,、C-885、C-843,、C-884,、C-863、LPS-45,、LPS-23,、LPS-24、M-664,、M-664KCEP,、P-887.91、P-882.11,、P-882.31,、P-882.51、P-883.11,、P-883.31 ,、P-883.51、P-885.11,、P-885.31,、P-885.51,、P-885.91