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當今高精電子束設(shè)備對環(huán)境磁場及其動態(tài)變化是非常敏感的,。環(huán)境磁場使電子束產(chǎn)生偏移,，從而導(dǎo)致設(shè)備分辨率和測量精度的減低。SC20系統(tǒng)由磁場控制單元,、一兩個交流或直流磁場傳感器以及裝在待消磁房間里的三根多芯電纜（三維空間線圈）組成,，是一種三維的交直流磁場補償系統(tǒng)。傳感器測量空間環(huán)境中交直流磁場及其變化量,，磁場控制單元以實時負反饋環(huán)路控制方式調(diào)節(jié)三個線圈中的電流來創(chuàng)建一個與環(huán)境磁場變化相反的磁場信號,，抵消環(huán)境磁場給電子束設(shè)備帶來的影響，恢復(fù)設(shè)備應(yīng)有的分辨率和精度,。這是一個動態(tài)系統(tǒng),，對磁場躍變自動響應(yīng)的速度在100微秒以內(nèi)。 市電（50/60 Hz）頻率的交流背景磁場可被消除至50分之一,；直流背景磁場可被消除至200分之一,。

SC20特點及技術(shù)參數(shù)：

通過穩(wěn)定磁場環(huán)境確保您購置的電子束科技設(shè)備應(yīng)有性能

消除和監(jiān)測交直流磁場

簡單的“一勞永逸”式操作，連續(xù)實時補償磁場

磁場躍變響應(yīng)速度：100 μs以內(nèi)

交流或直流磁場傳感器

交流磁場可消除范圍：0.5 Hz to 5 kHz,；市電60 Hz（典型）的交流背景磁場可被改善50倍

直流磁場可消除范圍：DC to 5 kHz,；直流背景磁場可被改善200倍

完整的X， Y,， Z三軸消磁系統(tǒng)

可消除場強高達80 mG (8.0 μT) pk-pk

高靈敏度傳感器,，可精確反饋環(huán)境磁場變化；支持多路傳感器,，用于抵消TEM透射電鏡和CD關(guān)鍵尺寸電子束顯微在線檢測設(shè)備的環(huán)境磁場

網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控（選項）