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英國DEBEN EBIC放大器
Deben旗下KED出品的EBIC,，是一款樣品電流和電子束感生電流測量放大器,，可進行吸收電流測量、吸收電流成像和電子束感生電流成像,，可用偏壓樣品,。
執(zhí)行EBIC成像所需的設備是掃描電子顯微鏡、EBIC放大器和電真空饋通,。
從電子束注入的電子打破半導體均衡狀態(tài),，產(chǎn)生電子/空穴對，EBIC信號主要是從嵌入的擴散層（晶體管和二極管）產(chǎn)生，通過放大電子束產(chǎn)生的感生電流或電壓,，便可由該效應形成SEM監(jiān)視圖像,。
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