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Q150V PLUS 系列全自動超精細鍍膜儀

Q150V Plus是一款高真空應用的超精細鍍膜設備，其極限真空度為1x10-6mbar,。 結合使用寬量程潘寧規(guī)和皮拉尼規(guī),，可以濺射具有超細成膜顆粒尺寸的易氧化金屬，適用于高分辨率成像,。 更低的背底負壓去除了腔室中的氧氮和水汽,，避免在濺射過程中發(fā)生化學反應以及在鍍膜過程中產生的雜質或缺陷。 同樣地,，較低的散射可得到高純而致密的無定形碳膜,。 Q150V Plus除具有Q150T Plus的所有優(yōu)點外，還可獲得更細成膜顆粒尺寸和更薄的膜,，適用于超高分辨率應用（放大倍數(shù)高于200,，000倍）。

使用Q150V E & ES Plus進行碳棒蒸鍍,；使用Q150V S & ES Plus濺射貴金屬和易氧化金屬,，適合SEM應用。

推薦放大倍數(shù)：

? up to x 50k using Au 鍍金可達5萬倍

? up to x 100k using Pt 鍍鉑可達10萬倍

? above x 100k using Cr,， Ir 鍍鉻,、銥可達10萬倍以上

非常適合薄膜應用，例如鍍ITO,， W， Al,， Zn

推薦應用：

? 超高分辨率放大SEM應用

? TEM載網(wǎng)鍍碳

? FIB保護性鉑層

? 腐蝕,，摩擦和磨損保護層的研發(fā)

? 醫(yī)療設備上的保護層

? BSE 成像

? EDX， WDS,， EBSD 分析

? 碳復型膜

? 納米技術,，如：沸石，聚合物納米刷

Q150V Plus功能特點：

1）全新升級的的用戶界面：

? 電容式觸摸屏靈敏度高,，更易觸控使用

? 用戶界面軟件已廣泛更新,，使用現(xiàn)代智能手機界面技術

? 上下文相關的全面幫助頁面

? USB接口可輕松進行軟件更新，也可將鍍膜程序文件備份/復制到U盤

? log文件可通過USB端口導出,，文件格式為.csv,，便于在Excel或類似軟件中分析,，log文件包括日期、時間和工作參數(shù),。

? 16GB的閃存可儲存超過1000條鍍膜程序,；雙核ARM處理器，可實現(xiàn)快速響應的顯示,。

2）允許多用戶輸入和儲存鍍膜參數(shù)程序,，新功能可根據(jù)*近的使用情況來排列每個用戶的程序。

3）智能邏輯系統(tǒng)自動識別插入頭,，并顯示相應的操作設置和控制,。

4）系統(tǒng)提示用戶確認靶材，然后自動為該材料選擇適當?shù)膮?shù),。

5）直觀的軟件允許生手或偶用者快速輸入和存儲其處理參數(shù),。 為方便起見，系統(tǒng)已存儲一些典型的濺射和鍍碳程序,，也允許用戶創(chuàng)建自己的操作程序,。

6）如果軟件檢測到在一段時間內無法達到一定真空，在真空泄漏的情況下會終止程序,，以防真空泵過熱,。

7）可互換的鍍膜插入頭：允許用戶將系統(tǒng)配置為濺射鍍膜儀、蒸發(fā)或輝光放電系統(tǒng) - 所有這些都是在一臺設備中,，節(jié)省空間,。 碳繩可選碳繩蒸發(fā)。更換插件時自動檢測鍍膜插頭類型,。

8）可拆卸腔室,，設有防爆罩：可拆卸式玻璃腔室，容易清潔底座和頂板,。如有必要,，用戶可以快速更換腔室，以避免敏感樣品的交叉污染,。高腔室選項可用于碳蒸發(fā),，避免樣品過熱，提高濺射的均勻性和承載較高尺寸的樣品,。

9）多種樣品臺可選：Q150V Plus具有可滿足大多數(shù)要求的樣品臺,。 所有樣品臺都易于更換、插入式（無螺絲）和高度可調（旋轉行**除外）,。

10）Q150V Plus符合行業(yè)CE標準

11）具有“適合TEM應用的全自動,、厚度可控的碳棒精細蒸發(fā)”、“磁控冷濺射”、“脈沖清潔用于濺射Al”等獨特技術,。

Q150V Plus具有三種型號：

1）Q150V S Plus全自動濺射鍍膜儀,，可濺射易氧化金屬,，實現(xiàn)超精細鍍膜,，可濺射的靶材包括鉻,、銥和所有貴金屬,。

2）Q150V E Plus全自動蒸發(fā)鍍碳儀（碳棒,、碳繩）,，適合TEM應用，用于TEM柵網(wǎng)鍍碳,。

3）Q150V ES Plus是集成了離子濺射和熱蒸鍍兩種鍍膜方式的一體化鍍膜系統(tǒng),，鍍膜頭可在數(shù)秒內更換,，可選金屬蒸發(fā)/光闌清潔。

Q150V Plus是Quorum Technologies出品的國際認可的Q系列鍍膜儀的一部分,，全球數(shù)千家客戶使用此類鍍膜儀,。Q系列旨在為SEM、TEM和薄膜應用提供高質量的鍍膜解決方案,，Q系列功能多樣,、價格合理且易于使用,。

主要操作性能：

1）離子濺射：濺射電流可設范圍寬,，至預設厚度（需選用FTM）終止或定時終止,。可設濺射時間寬,，無需破真空,，自動內置冷卻占空比,。

2）蒸鍍：可用碳棒（可選碳繩）蒸鍍碳膜,；選用鎢籃或鉬舟進行金屬熱蒸發(fā),；選用標準鉬舟清潔TEM光闌

3）可視化狀態(tài)指示

大而多色的LED指示燈,，使用戶在一定距離就可輕松識別過程狀態(tài),。指示燈可顯示以下狀態(tài)：

◆ 初始化中 ◆ 程序運行

◆ 空閑狀態(tài) ◆ 正在鍍膜

◆ 程序完成 ◆ 故障停機狀態(tài)

程序完成后音頻聲音提示。

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