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掃描電鏡專用原位AFM探測系統(tǒng)

AFSEM™ —使AFM和SEM合二為一

奧地利GETec公司發(fā)布的掃描電鏡專用原位AFM探測系統(tǒng)——AFSEM是一款緊湊型,，適用于真空環(huán)境的AFM產(chǎn)品，能夠輕松地結(jié)合兩種強大的分析技術(shù)—AFM和SEM為一體,，擴展SEM樣品成像和分析能力,。AFSEM技術(shù)與SEM技術(shù)的**結(jié)合，使得人們對微觀世界和納米世界新探索新發(fā)現(xiàn)成為可能,。

掃描電子顯微鏡中進行原位AFM分析

掃描電鏡專用原位AFM探測系統(tǒng)實現(xiàn)了AFM和SEM的功能性互補，讓SEM可以同時實現(xiàn)樣品的高分辨率成像,，真實的三維形貌,，精確的高度，距離測量,，甚至是材料的導(dǎo)電性能,。做到這一點只需要將AFSEM懸臂探針的位置移動到SEM下需要觀察的樣品位置進行探測。優(yōu)化的AFSEM工作流程(幾乎沒有減少SEM的掃描時間)確保了高效率,。提供的強大控制軟件則允許進行優(yōu)化和直觀的測量,、系統(tǒng)處理和數(shù)據(jù)分析。

將AFSEM集成到一個Zeiss Leo 982掃描電子顯微鏡中(左),，對樣品表面進行掃描成像(右),，對樣品表面進行掃描。當在AFM和SEM成像之間交替時，不需要轉(zhuǎn)移樣品或打破真空,。使用AFSEM,，一切都可以進行內(nèi)聯(lián)！

SEM-AFM協(xié)同分析

對于產(chǎn)品或材料分析,，通常需要用多種技術(shù)分析一個樣品或者同一個器件,，并尋找參數(shù)之間的相關(guān)性。如果樣品需要使用SEM和AFM這兩種的成像技術(shù),，就意味著我們需要找到感興趣的區(qū)域并定位它,，再拿到另一個設(shè)備中尋找這個感興趣的區(qū)域，才能實現(xiàn)對同樣的區(qū)域進行分析,。有什么能比直接把AFM放在SEM里面來的簡單呢,？

掃描電鏡圖像(A)、放大的圖像(B)和相關(guān)的AFM成像(C),，測量結(jié)果來自FEI Quanta 600 FEG ESEM,。

AFSEM可與大多數(shù)SEM兼容

AFSEM適用于大多數(shù)SEM或雙光束(SEM/FIB)系統(tǒng)?？梢灾苯影惭b在系統(tǒng)腔室的倉門上，同時樣品臺保持不變,。此外,，AFSEM采用一種自感應(yīng)懸臂探針，無需激光與傳感器,。AFSEM在電鏡中,，夾持探針的懸臂梁只需要極靴與樣品之間4.5毫米的空間。因此,，AFSEM可以與各種標準的SEM兼容,，GETec公司能夠處理任何兼容SEM系統(tǒng)真空腔內(nèi)的安裝。也正是這種優(yōu)雅小巧的設(shè)計使得掃描電子顯微鏡能夠配合AFM技術(shù)實現(xiàn)的亞納米級的形貌探測,。

成功的AFSEM集成的例子(可參見集成SEM列表)

AFSEM與SEM分析技術(shù)緊密配合

由于AFSEM小巧的設(shè)計維護了SEM功能的完整性,，可以實現(xiàn)與其他標準的掃描電鏡分析技術(shù)相結(jié)合同時使用，如常規(guī)FIB,、FEBID和EDX,，以及SEM中可搭配的拉伸機，應(yīng)力測試,，機械手等等

AFSEM應(yīng)用案例舉例

AFSEM與Deben 200N拉伸試驗臺可以同時集成在Philips XL40 SEM實現(xiàn)試樣拉伸形變過程的原位觀察和形貌探測,。這是一個創(chuàng)新的實驗解決方案,，用來研究拉力作用下金屬試樣的拉伸形變和頸縮過程中，樣品表面形貌和粗糙度的變化,。

此外AFSEM™和Hysitron PI85硬度測試臺結(jié)合,，一同安裝在蔡司Leo 982 SEM中，電鏡下我們可以實時觀察金屬表面在硬度計壓頭尖端的壓力下,，表面形變,，滑移過程。其形變,，滑移的形貌變化可以由AFM完成,。

從AFM的角度來看，自感應(yīng)懸臂探針可以實現(xiàn)多種探測模式,，包括靜態(tài)成像,、動態(tài)成像、相對比,、力譜,、力調(diào)制和導(dǎo)電模式AFM。例如,，在飛利浦XL40儀器中,，利用掃描電鏡成像、EDX的化學分析,、AFM的3D形貌和電導(dǎo)分析,。

AFSEM采用的自感應(yīng)探針（self-sensing cantilevers）

奧地利SCL-Sensor.Tech公司主要生產(chǎn)硅基壓阻式自感應(yīng)探針，避免了常規(guī)AFM需要光路進行探測的模式,，拓寬AFM在納米探測,、力測量和其他場合的應(yīng)用。

自檢測懸臂配備全壓阻電橋直接測量懸臂信號電,，從而消除常規(guī)原子力顯微鏡光學信號探測對儀器空間的要求,。兩個可變電阻分別位于微懸臂和芯片上。整個結(jié)構(gòu)連接到一個小的PCB板上,，可實現(xiàn)快速和高重復(fù)性的探針交換,。感應(yīng)到的信號通過一個前置放大電路讀出和放大。這使得與各種儀器,，如SEM,，TEM和許多其他測量系統(tǒng)，可以輕松無縫地集成,。自感應(yīng)探針具有各種諧振頻率和彈簧常數(shù),。

我們可為您提供PRS（壓阻傳感）懸臂探針和PRSA（壓阻傳感與主動）懸臂探針。