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VT6000轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦顯微鏡以轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法，共同組成測(cè)量系統(tǒng),。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè),，可分析粗糙度、凹坑瑕疵,、溝槽等參數(shù),。
1)3D測(cè)量功能：設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能；
2)影像測(cè)量功能：設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測(cè)量功能,，可進(jìn)行長(zhǎng)度,、角度、半徑等尺寸測(cè)量,；
3)自動(dòng)拼接功能：設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,，能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量；
4)數(shù)據(jù)處理功能：設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；
5)分析工具功能：設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；
6)批量分析功能：設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；
7)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié),、光源亮度調(diào)節(jié),、急停等,；
8)光源安全功能：光源設(shè)置無(wú)人值守下的自動(dòng)熄燈功能，當(dāng)檢測(cè)到鼠標(biāo)軌跡長(zhǎng)時(shí)間未變動(dòng)后會(huì)自主降低熄滅光源,，防止光源高亮過(guò)熱損壞,，并有效延長(zhǎng)光源使用壽命；
9)鏡頭安全功能：設(shè)備配備壓力傳感器,，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮，進(jìn)入急停狀態(tài),，大幅減小碰撞沖擊力,，有效保護(hù)鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風(fēng)險(xiǎn),。
VT6000轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦顯微鏡主要應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光學(xué)膜材、顯示行業(yè),、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測(cè)中,，其次是對(duì)表面粗糙度、面積,、體積等參數(shù)的檢測(cè)中,。
3D形貌圖片：
VT6000轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料制造、汽車(chē)零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中。
1,、鐳射槽
測(cè)量晶圓上激光鐳射槽的深度：半導(dǎo)體后道制造中,，在將晶圓分割成一片片的小芯片前，需要對(duì)晶圓進(jìn)行橫縱方向的切割,，為確保減少切割引發(fā)的崩邊損失,，會(huì)先采用激光切割機(jī)在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導(dǎo)槽，在工藝上需要對(duì)引導(dǎo)槽的槽型深寬尺寸進(jìn)行檢測(cè),。
2,、光伏
在太陽(yáng)能電池制作工程中，柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導(dǎo)電能力,，直接影響著太陽(yáng)能電池的性能,。共聚焦顯微鏡可以對(duì)柵線進(jìn)行快速檢測(cè)。此外，太陽(yáng)能電池制作過(guò)程中,，制絨作為關(guān)鍵核心工藝,，金字塔結(jié)構(gòu)的質(zhì)量影像減反射焰光效果，是光電轉(zhuǎn)換效率的重要決定因素,。共聚焦顯微鏡具有納米級(jí)別的縱向分辨能力,，能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建。
3,、其他
| 型號(hào) | VT6100 | |
行程范圍 | X | 100mm |
| Y | 100mm | |
| Z | 100mm | |
| 外形尺寸 | 520*380*600mm | |
| 儀器重量 | 50kg | |
| 測(cè)量原理 | 共聚焦光學(xué)系統(tǒng) | |
| 顯微物鏡 | 10×;20×;50×;100× | |
| 視場(chǎng)范圍 | 120×120 μm~1.2×1.2 mm | |
| 高度測(cè)量 | ||
| 寬度測(cè)量 | ||
| XY位移平臺(tái) | 負(fù)載 | 10kg |
| 控制方式 | 電動(dòng) | |
| Z0軸掃描范圍 | 10mm | |
| 物鏡塔臺(tái) | 5孔電動(dòng) | |
| 光源 | 白光LED | |
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