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SJ6000機(jī)床激光干涉儀利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,，具有高精度、高分辨率,、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn),。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組,、角度鏡組,、直線度鏡組、垂直度鏡組,、平面度鏡組,、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái),。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標(biāo)配,，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度,、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償,。

線性測(cè)量應(yīng)用

SJ6000機(jī)床激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo),、機(jī)器人,、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備,、線性位移平臺(tái),、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線性測(cè)量,。

在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),，以及進(jìn)行位移,、速度、加速度,、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。

動(dòng)態(tài)測(cè)量概述

SJ6000動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件搭配線性鏡組、角度鏡組或直線度鏡組可以進(jìn)行相應(yīng)的線性,、角度或直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),。

動(dòng)態(tài)測(cè)量包括基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測(cè)量和基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量，SJ6000動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件可對(duì)動(dòng)態(tài)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅與頻率分析等,。

位移-時(shí)間曲線

速度-時(shí)間曲線

加速度-時(shí)間曲線

振幅-頻率曲線

動(dòng)態(tài)測(cè)量應(yīng)用

1、基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測(cè)量

機(jī)器運(yùn)動(dòng)控制性能評(píng)價(jià)：

(1)運(yùn)動(dòng)控制器PID控制參數(shù)測(cè)試與設(shè)置

(2)動(dòng)后機(jī)器的穩(wěn)定性測(cè)試與評(píng)價(jià)

(3)能運(yùn)動(dòng)控制器的微小步幅的測(cè)試

振動(dòng)監(jiān)視

(1)掃描應(yīng)用：用于定位精度不重要,，但恒速對(duì)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量成像非常關(guān)鍵的場合

(2)機(jī)床應(yīng)用：典型應(yīng)用包括要求刀具慢速,、平穩(wěn)輪廓運(yùn)動(dòng)的高質(zhì)量表面精加工

振動(dòng)頻率分析

(1)被測(cè)對(duì)象的振動(dòng)頻率分析

(2)FFT快速傅立葉變換分析

2、基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量

基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量，SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)將沿著軸線“飛行"測(cè)量,，即運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下以用戶定的間隔進(jìn)行數(shù)據(jù)采集,。

3、提供脈沖觸發(fā)方式采集

CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵,、編碼器,、控制器等信號(hào)，配合SJ6000激光干涉儀,，可實(shí)現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動(dòng)采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集,。適用于運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下，觸發(fā)激光干涉儀按照定的間隔位置進(jìn)行數(shù)據(jù)采集,。

產(chǎn)品功能

（1）可實(shí)現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量,；

（2）可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角,、直線度,、垂直度等；

（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn),；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,，包括位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅和頻率分析等,，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

（6）SJ6000機(jī)床激光干涉儀支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

測(cè)量軟件

（1）友好的人機(jī)界面,；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊,；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡潔化的記錄管理,；

（5）支持中文、英文和俄文界面,；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制,。