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中圖儀器激光干涉儀sj6000集光,、機,、電、計算機等技術(shù)于一體,，具有測量精度高、測量速度快,、測量范圍大,、**測速下分辨率高等特點。
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組、角度鏡組,、直線度鏡組,、垂直度鏡組、平面度鏡組,、自動精密轉(zhuǎn)臺,。
主要鏡組圖
其中，線性鏡組為標配,，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度,、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補償,。
線性測量（線性軸位置精度測量的簡稱）配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元,、線性鏡組,、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量,。其中,，線性測量包括定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等,。
激光干涉儀sj6000廣泛應(yīng)用于機床,、三坐標、機器人,、3D打印設(shè)備,、自動化設(shè)備、線性位移平臺,、精密機械設(shè)備,、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。
激光干涉儀sj6000結(jié)合不同的光學鏡組,，可實現(xiàn)線性測長,、角度、直線度,、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,，可實現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移,、速度,、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,，如振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。
（1）可實現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量,；
（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角,、直線度,、垂直度等；
（3）可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準,；
（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
（5）具有動態(tài)測量與分析功能,，包括位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅和頻率分析等,，可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；
（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償。
（1）友好的人機界面,；
（2）豐富的應(yīng)用功能模塊,；
（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>
（4）簡潔化的記錄管理,；
（5）支持中文,、英文和俄文界面,；
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