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SuperViewW白光干涉三維輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式,，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度，平面度,，平行度,，臺(tái)階高度，錐角等等）,；

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積,，特征圖形的位置和數(shù)量等等）,。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、干涉物鏡

不通倍率的鏡頭,，適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品,。

2,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)，可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)噪聲,。

3,、聲波隔振防護(hù)

儀器外殼與內(nèi)部運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用了分離式設(shè)計(jì)，有效隔離了聲波振動(dòng)的傳導(dǎo),。

4,、水平調(diào)整裝置

傾斜調(diào)整旋鈕，調(diào)整條紋寬度,，提高3D圖像的重建精度,。

5、便攜式操縱桿

采用人體工程學(xué)設(shè)計(jì),，集成了XYZ三軸位移和速度,、光源亮度的自動(dòng)控制，并配有緊急停止按鈕,。

6,、真空吸附臺(tái)

專為半導(dǎo)體晶圓片定制的真空吸附臺(tái)，確保樣品在測量過程中不受空氣中微弱氣流擾動(dòng)的影像,。

7,、3D重建算法

自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下,，測量精度可達(dá)亞納米級別,。

自研3D顯微測量軟件平臺(tái)Xtremevision Pro

Xtremevision Pro

全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺(tái)，集成了圖像掃描,、3D分析,、影像測量、自動(dòng)化測量等四個(gè)大的功能模塊,，能夠適配中圖W系列,、VT系列、WT系列所有3D儀器機(jī)型,，可自主識(shí)別機(jī)型種類,，二合一機(jī)型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動(dòng)切換掃描模式。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗(yàn),，重構(gòu)了顯微影像測量功能,，可針對微觀平面輪廓尺寸的點(diǎn)、線間的距離,、角度,、半徑等參數(shù)進(jìn)行直接測量和自動(dòng)匹配測量。

自動(dòng)化mark點(diǎn)識(shí)別坐標(biāo)定位自動(dòng)化功能

Mark點(diǎn)影像識(shí)別自動(dòng)坐標(biāo)位置校正，多區(qū)域坐標(biāo)點(diǎn)自動(dòng)定位測量與分析,，可組合式完成粗糙度,、輪廓尺寸的批量自動(dòng)化測量。

自動(dòng)拼接功能

SuperViewW白光干涉三維輪廓儀支持方形,、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動(dòng)拼接測量功能，配合影像導(dǎo)航功能,，可自定義測量區(qū)域,，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測量。

應(yīng)用領(lǐng)域圖片

SuperViewW白光干涉三維輪廓儀可對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

部分技術(shù)指標(biāo)

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,，恕不另行通知，不便之處敬請諒解,。

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