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三維光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x
三維光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

SuperView W1

品牌

中圖儀器

產(chǎn)地

深圳

樣本

暫無(wú)
深圳市中圖儀器股份有限公司

會(huì)員

|

第9年

|

生產(chǎn)商

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  • 功率(kw):

    330
  • 重量(kg):

    90
  • 規(guī)格外形(長(zhǎng)*寬*高):

    900x700x604mm
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SuperView W1三維光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x是利用光學(xué)顯微技術(shù),、白光干涉掃描技術(shù),、計(jì)算機(jī)軟件控制技術(shù)和PZT垂直掃描技術(shù)對(duì)工件進(jìn)行非接觸測(cè)量,,還原出工件3D表面形貌宏微觀信息,并通過(guò)軟件提供的多種工具對(duì)表面形貌進(jìn)行各種功能參數(shù)數(shù)據(jù)處理,,實(shí)現(xiàn)對(duì)各種工件表面形貌的微納米測(cè)量和分析的光學(xué)計(jì)量?jī)x器,。

SuperView W1三維光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x只需操作者裝好被測(cè)工件,在檢定軟件上設(shè)定物鏡倍率和測(cè)量模式后點(diǎn)擊“開(kāi)始”按鈕,,光學(xué)物鏡會(huì)對(duì)工件表面進(jìn)行自動(dòng)對(duì)焦和非接觸掃描,,并按設(shè)定的位置進(jìn)行測(cè)量,軟件界面會(huì)實(shí)時(shí)掃描物體宏微觀表面形貌,;掃描結(jié)束后,,操作者可通過(guò)分析工具對(duì)生成的3D形貌進(jìn)行分析,得到如輪廓,、厚度,、粗糙度、體積等多種表面形貌測(cè)量分析數(shù)據(jù),。

該產(chǎn)品具有精度高,、使用方便、功能強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),,采用非接觸式傳感器掃描技術(shù),,用于對(duì)各種產(chǎn)品和部件的表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,它比傳統(tǒng)的探針式輪廓儀操作更方便,,測(cè)量精度更高,。

由于采用非接觸無(wú)損的測(cè)量方式,避免了對(duì)被測(cè)物體造成劃痕和磨損,,尤其適用于各種柔軟材料,、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無(wú)法檢測(cè)的表面形態(tài)測(cè)量和分析。

還能夠?qū)Ω鞣N表面的工件和材料從宏觀到微觀的進(jìn)行長(zhǎng)度,、高度,、間距、水平距離,、垂直距離,、角度、圓弧半徑,、表面粗糙度等幾何參數(shù)進(jìn)行亞微米,、納米級(jí)測(cè)量和分析。

系統(tǒng)軟件為簡(jiǎn)體中文操作系統(tǒng),,操作方便,。


SuperView W1三維光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x性能特點(diǎn):

1)     使用白光干涉測(cè)量技術(shù),非接觸式,、非破壞性,、快速表面形貌測(cè)量與分析,;

2)     臺(tái)階高度測(cè)量分辨率達(dá)0.1 nm

3)     可搭配黑白或彩色相機(jī)進(jìn)行2D,、3D顯示和測(cè)量功能,;

4)     配置電動(dòng)鼻輪,可同時(shí)掛載多種物鏡并程序化控制切換使用,;

5)     采用雙光源模式,,適應(yīng)特殊樣品測(cè)量;

6)     測(cè)量范圍100×100mm(可按客戶定制尺寸),;

7)     配置低倍率物鏡(2.5×和5×倍率),可進(jìn)行大面積3D測(cè)量,;

8)     提供多種表面參數(shù)測(cè)量功能,,如斷差高度、夾角,、面積,、體積、粗糙度,、波紋度,、薄膜厚度及平面度;

9)     提供超過(guò)250多種各類參數(shù)(含2D,、3D)計(jì)算,;

10)   友好的人機(jī)界面,簡(jiǎn)便的圖形化控制系統(tǒng)及3D圖型顯示,;

11)   多種交換文件格式,,可儲(chǔ)存與讀取多種3D輪廓文件格式;


SuperView W1三維光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x應(yīng)用:

SuperView W1三維光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x廣泛應(yīng)用于汽車工業(yè),、半導(dǎo)體加工,、精密加工、航空航天,、造紙工業(yè),、鋼鐵工業(yè)、薄膜加工,、生物醫(yī)學(xué),、MEMS能源器件,、微電子,、信息存儲(chǔ)、結(jié)構(gòu)光學(xué)和通訊產(chǎn)品等許多行業(yè)領(lǐng)域中,。


各類光滑,、連續(xù)光滑和適度粗糙物體表面從毫米到亞微米,、納米尺度3D形貌輪廓、坐標(biāo),、厚度,、粗糙度、體積,、表面紋理等測(cè)量,。


SuperView W1三維光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x技術(shù)指標(biāo):

光源

白光LED;綠光LED

影像系統(tǒng)

1280×1024

普通物鏡

1×,、2.5×,、5×10×,、20×,、50×100×,、150×

干涉物鏡

5×,、10×20×,、50×,、100×

坡度

小于42o

物鏡座

電控5孔物鏡轉(zhuǎn)盤

光學(xué)ZOOM

1×0.5×                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    

XY移動(dòng)平臺(tái)

測(cè)量范圍:100×100mm(可根據(jù)客戶需要定制)

精度:0.5μm

分辨率:0.01μm

負(fù)載:10kg

控制方式:自動(dòng)

水平調(diào)整

手動(dòng)調(diào)整,±4°

Z

移動(dòng)范圍:100mm

分辨率:0.01μm

PZT掃描

行程:100μm

分辨率:0.8nm

重復(fù)性:5nm

掃描速度:≤30μm/s

測(cè)量模式與精度

垂直掃描VSI,;

準(zhǔn)確度(4.43μm臺(tái)階高):0.75%

重復(fù)性(4.43μm臺(tái)階高):0.1%

相移法掃描PSI

準(zhǔn)確度(57nm臺(tái)階高):1.5%

重復(fù)性(57nm臺(tái)階高):0.3%

一般測(cè)量時(shí)間

(掃描范圍10μm)

VSI10S,;PSI3S


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10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
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