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主要特點：

設(shè)備特點：

1,、自動廣角輪廓校正：兼容破殘片切割 

2,、自動掃條碼功能，配合生產(chǎn)信息上拋功能

3,、全新自動上下料,，無人值守全自動運行，提升上下料效率 

4,、平臺行程和載臺大小可滿足2寸,、4寸及6寸片的生產(chǎn)（4/6寸一鍵切換）

5、DRA響應(yīng)精度50HZ@±5um

6,、自動調(diào)焦功能（激光焦點校正）

7,、標(biāo)配SECS-GEM協(xié)議

主要參數(shù):

加工效果：

波浪紋

1,、60μm≤片厚 ≤ 100μm,；波浪紋≦±2μm 

2、100μm＜片厚≤ 150μm,；波浪紋≦±2.5μm