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采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的納米級(jí)物鏡掃描臺(tái),，內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性較鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),，確保了掃描臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。掃描臺(tái)內(nèi)置精移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,，定位精度,、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí),。掃描臺(tái)為無磁材質(zhì),，使用過程中不產(chǎn)生磁場同時(shí)也不受磁場的影響。聚焦行程可達(dá)100微米,。分體的螺紋適配器,，可適配多種型號(hào)的物鏡。
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