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PicoFemto透射電鏡原位高溫力學測量系統(tǒng),，同時集成了力學測量模塊及MEMS芯片模塊，可以在

對樣品1000 ℃加熱的同時進行定量的力學測量,。MEMS芯片模塊上可以選擇加熱芯片,，也可以選

擇電學測量芯片。力學測量模塊可以選擇不同載荷的傳感器,，滿足不同實驗需求,。

該產(chǎn)品實現(xiàn)了透射電鏡中的高分辨定量原位高溫力學研究。

性能指標

 透射電鏡指標：

● 兼容指定電鏡型號及極靴,；

● 部分型號電鏡可選雙傾版本,，雙傾電學測量樣品桿Y軸傾角±25°;（同時受限于極靴間距）；

力學傳感器指標：

● **載荷100 mN（可選0.1 mN,、1 mN,、10 mN、100 mN）,；

● 力測量實測噪聲優(yōu)于5nN（0.1 mN**載荷時）,；

● 力測量實測分辨率優(yōu)于5 nN（0.1 mN**載荷時）；

● 自動測量力-距離曲線,，自動保存,。

加熱指標：

● 溫度控制范圍：室溫至1000 ℃；

● 溫度準確度：優(yōu)于5%,；

● 溫度穩(wěn)定性：優(yōu)于±0.1 ℃,。

掃描探針操縱指標：

● 粗調范圍：X方向 1.5 mm，YZ 方向2 mm,；

● 細調范圍：XY 方向20 um,，Z 方向 10 um；

● 細調分辨率：XY 方向 0.4 nm,，Z 方向 0.2 nm,。

產(chǎn)品特色

（1）很大力學測量及溫度控制范圍；

（2）多場下的力學研究,；

（3）穩(wěn)定性高：輕松獲得大幅度運動中的高分辨像,，適用于更廣泛的應用場景和樣品體系；

（4）很長的壽命：種類：實用新型（具備高分辨多維操縱和電學測量的電子顯微

鏡原位樣品桿）的“爪-球”結構探針桿因其獨特的結構設計,，是公

認皮實耐用的探針桿,；

（5）很低維護成本：設備配套的針尖制備系統(tǒng)可低成本制備針尖耗材,。”爪-球“微動結構已實現(xiàn)

模塊化量產(chǎn),，維護成本低,；

（6）很大的用戶群：在國內擁有近200個高質量原位用戶，出口到歐美澳等地,。每年,，用戶會產(chǎn)出

大量高質量研究成果。定期組織各類用戶交流活動,，搭建學術平臺供用戶交流,；

（7）成熟的技術支持網(wǎng)絡：在安徽、北京,、東莞和上海擁有分公司,，其他各地擁有若干技術支持

網(wǎng)點，24小時提供技術支持,。