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PicoFemto透射電鏡原位高溫力學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，同時(shí)集成了力學(xué)測(cè)量模塊及MEMS芯片模塊,，可以在

對(duì)樣品1000 ℃加熱的同時(shí)進(jìn)行定量的力學(xué)測(cè)量,。MEMS芯片模塊上可以選擇加熱芯片，也可以選

擇電學(xué)測(cè)量芯片,。力學(xué)測(cè)量模塊可以選擇不同載荷的傳感器,，滿足不同實(shí)驗(yàn)需求。

該產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了透射電鏡中的高分辨定量原位高溫力學(xué)研究,。

性能指標(biāo)

 透射電鏡指標(biāo)：

● 兼容指定電鏡型號(hào)及極靴,；

● 部分型號(hào)電鏡可選雙傾版本，雙傾電學(xué)測(cè)量樣品桿Y軸傾角±25°;（同時(shí)受限于極靴間距）,；

力學(xué)傳感器指標(biāo)：

● **載荷100 mN（可選0.1 mN,、1 mN、10 mN,、100 mN）,；

● 力測(cè)量實(shí)測(cè)噪聲優(yōu)于5nN（0.1 mN**載荷時(shí)）；

● 力測(cè)量實(shí)測(cè)分辨率優(yōu)于5 nN（0.1 mN**載荷時(shí)）,；

● 自動(dòng)測(cè)量力-距離曲線,，自動(dòng)保存。

加熱指標(biāo)：

● 溫度控制范圍：室溫至1000 ℃,；

● 溫度準(zhǔn)確度：優(yōu)于5%,；

● 溫度穩(wěn)定性：優(yōu)于±0.1 ℃。

掃描探針操縱指標(biāo)：

● 粗調(diào)范圍：X方向 1.5 mm,，YZ 方向2 mm,；

● 細(xì)調(diào)范圍：XY 方向20 um，Z 方向 10 um,；

● 細(xì)調(diào)分辨率：XY 方向 0.4 nm，Z 方向 0.2 nm,。

產(chǎn)品特色

（1）很大力學(xué)測(cè)量及溫度控制范圍,；

（2）多場(chǎng)下的力學(xué)研究；

（3）穩(wěn)定性高：輕松獲得大幅度運(yùn)動(dòng)中的高分辨像,，適用于更廣泛的應(yīng)用場(chǎng)景和樣品體系,；

（4）很長(zhǎng)的壽命：種類：實(shí)用新型（具備高分辨多維操縱和電學(xué)測(cè)量的電子顯微

鏡原位樣品桿）的“爪-球”結(jié)構(gòu)探針桿因其獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，是公

認(rèn)皮實(shí)耐用的探針桿,；

（5）很低維護(hù)成本：設(shè)備配套的針尖制備系統(tǒng)可低成本制備針尖耗材,。”爪-球“微動(dòng)結(jié)構(gòu)已實(shí)現(xiàn)

模塊化量產(chǎn)，維護(hù)成本低,；

（6）很大的用戶群：在國(guó)內(nèi)擁有近200個(gè)高質(zhì)量原位用戶,，出口到歐美澳等地。每年,，用戶會(huì)產(chǎn)出

大量高質(zhì)量研究成果,。定期組織各類用戶交流活動(dòng)，搭建學(xué)術(shù)平臺(tái)供用戶交流,；

（7）成熟的技術(shù)支持網(wǎng)絡(luò)：在安徽,、北京、東莞和上海擁有分公司,，其他各地?fù)碛腥舾杉夹g(shù)支持

網(wǎng)點(diǎn),，24小時(shí)提供技術(shù)支持。