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線性壓電納米位移臺MF40-25A品牌
安徽澤攸產(chǎn)地
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線性壓電納米位移臺MF40-25A,，緊湊結(jié)構(gòu)支撐下的超大行程,，軟件簡單易用，亞納米級別開環(huán)分變率,，真空兼容可達(dá)10-5Pa,。支持定制納米位移臺。
不同于傳統(tǒng)的微米級別行程,，納米位移臺擁有超大運(yùn)動(dòng)行程,。大運(yùn)動(dòng)行程可以替代傳統(tǒng)的大范圍運(yùn)動(dòng)加不范圍補(bǔ)償?shù)倪\(yùn)動(dòng)方案，從而使設(shè)計(jì) 結(jié)構(gòu)更加緊湊,，運(yùn)動(dòng)控制更加簡單,。
納米位移臺配套操作簡單，隨時(shí)調(diào)整XY軸觀測位置,，電子屏顯示,，實(shí)時(shí)反饋數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)定位準(zhǔn)確,，且?guī)в懈呔燃案叻肿兟实奈恢梅答仭?/span>
結(jié)構(gòu)緊湊,，高剛性
零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
室溫到液氦工作溫度,，真空兼容
壓電陶瓷促進(jìn)器具有超長使用壽命
帶位移傳感器，提供位置和速度閉環(huán)控制
產(chǎn)品應(yīng)用
電子顯微鏡原位納米探針臺,，半導(dǎo)體芯片檢測,，光刻機(jī)工件臺,，微生物操縱手，光纖焊接
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