壓電驅(qū)動納米位移臺,，使用壓電陶瓷作為運動促動元件,，可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實現(xiàn)亞納米級別的步長，從而解決了傳統(tǒng)納米臺行程小而微米電動臺分辯精度不高的問題,。在科研市場,、半導(dǎo)體市場、先進(jìn)制造業(yè),、生物醫(yī)藥行業(yè),、光學(xué)、通信等行業(yè)有廣泛應(yīng)用,。

自主研發(fā)的壓電驅(qū)動納米位移臺,，具有運動無需潤滑，真空兼容,，可在從液氦溫區(qū)（-269攝氏度）至室溫的寬溫區(qū)內(nèi)工作等優(yōu)點,。具有步進(jìn)和掃描雙工作模式，在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位,。

線性壓電納米位移臺ML-37A,，不僅擁有緊湊的安裝尺寸，同時還兼具低溫真空等應(yīng)用環(huán)境,。是小空間內(nèi)大行程高精度的定位的優(yōu)先選擇產(chǎn)品,。支持定制納米位移臺。

產(chǎn)品優(yōu)勢

• 結(jié)構(gòu)緊湊,，高剛性

• 零間隙,，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

• 室溫到液氦工作溫度,，真空兼容

• 壓電陶瓷促進(jìn)器具有使用壽命長

• 帶位移傳感器，提供位置和速度閉環(huán)控制

產(chǎn)品應(yīng)用

電子顯微鏡原位納米探針臺,，半導(dǎo)體芯片檢測,，光刻機(jī)工件臺，微生物操縱手,，光纖焊接