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微波等離子設(shè)備
微波等離子設(shè)備

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型號

微波等離子設(shè)備

品牌

三樂微波

產(chǎn)地

江蘇

樣本

暫無
南京三樂微波技術(shù)發(fā)展有限公司

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一、裝備介紹


  微波等離子體設(shè)備是在常壓或低真空情況下,,通過微波等離子發(fā)生器對反應腔內(nèi)工藝氣體,,施加微波電磁能量,使氣體產(chǎn)生等離子體,,對氣體進行熱解和高度電離,,同時特殊氣體經(jīng)過等離子電離后,利用等離子的特性,,作用于產(chǎn)品表面,,提高表面活性,增加附著性能的目的,。微波等離子體設(shè)備操作簡單,、安全可靠、自動化程度較高,。


二,、特點


1、一定條件下,,能使尾氣高度電離和離解,,設(shè)備安全可靠;

2,、等離子設(shè)備氣壓范圍內(nèi)較寬,,可獲得氣體的等離子化;

3,、無內(nèi)部電極,,消除氣體污染和電極腐蝕;

4,、氣體微波等離子體化產(chǎn)生不帶高壓,,微波輻射易防護;

5,、設(shè)備自動點火,,操作簡單,、安全可靠;

6,、氣體參數(shù)變化范圍較大,,為廣泛應用提供可能性。


三,、應用


1,、微波等離子火炬技術(shù),應用于工業(yè)尾氣的處理,,及材料高溫燒結(jié),;

2、微波等離子體化學氣相沉積(MPECVD):制備單晶,、多晶金剛石,,制備SiC、寶石,、切削刀具等,;


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