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主要特點(diǎn)

1,、具備加熱,、離子束濺射清洗和磁控濺射沉積金屬層的能力；

2,、腔室圓周壁安裝磁控濺射源,、離子束清洗源和加熱器，底部布置高真空抽氣系統(tǒng),。頂部有旋轉(zhuǎn)基片架驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)和真空度測(cè)量系統(tǒng) ,；

3、設(shè)備采用全自動(dòng)控制系統(tǒng),，能控制工藝溫度,、膜層厚度，能對(duì)微孔內(nèi)壁鍍膜,；

4,、腔室內(nèi)設(shè)置多路偏壓板，每路偏壓能夠獨(dú)立調(diào)節(jié),，自由控制通斷以及接地設(shè)計(jì),。偏壓由基片架轉(zhuǎn)軸引入腔室；

5,、行星轉(zhuǎn)架底座為公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu),，而偏壓板底座和基片（電路板）底座為公轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)；

6,、突出安全性設(shè)計(jì)：設(shè)備中外露部分,，包括真空腔室、抽氣系統(tǒng)、離子源背部等能觸摸到的表面,，全部接地保護(hù),；內(nèi)部帶電部分也有明顯警示標(biāo)志。設(shè)備控制軟件設(shè)有自動(dòng)保護(hù)功能,。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)

1,、 離子束清洗源產(chǎn)生的高能Ar離子,清洗轟擊基底表面，可以提高膜層的粘附性,；

2,、 布?xì)庀到y(tǒng)，氣體流量均利用質(zhì)量流量計(jì)分別進(jìn)行定量控制,；

3,、 溫度監(jiān)控采用熱偶絲方式，腔室壁設(shè)置加熱器,，通過溫度傳感器進(jìn)行加熱控制,。真空室外壁設(shè)置水冷，能確保**加熱溫度條件下控制外壁溫度不高于40攝氏度,；

4,、 設(shè)備鍍膜源的安裝法蘭采用合頁鉸鏈設(shè)計(jì)，換靶方便,，離子源和加熱器維護(hù)操作簡單,。所有的磁控濺射離子源、離子束清洗源的安裝法蘭采用相同尺寸,，互換性強(qiáng),，工藝靈活性高；

5,、 設(shè)備采用工控機(jī)+PLC控制方式,，完全自動(dòng)化界面控制，具備工藝配方自動(dòng)運(yùn)行能力,。