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主要特點(diǎn)

1、傳動(dòng)裝置為水冷式：設(shè)計(jì)新穎、結(jié)構(gòu)緊湊,、系列間通用,、互換性強(qiáng)；水冷式機(jī)座,，散熱效果佳,；滾動(dòng)軸承及傳動(dòng)齒輪可加潤(rùn)滑油運(yùn)行，使用壽命增長(zhǎng)3-5倍,；

2,、旋轉(zhuǎn)裝置為行星旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、據(jù)鍍膜工藝不同,，設(shè)計(jì)為：公轉(zhuǎn)式,、公/自轉(zhuǎn)式；

3,、采用氣動(dòng)門鉸,，自動(dòng)鎖門，減少操作程序,，增強(qiáng)真空門整體的密閉性及減少對(duì)橡膠密封圈的破壞性,；

4、真空容器設(shè)計(jì)為新型結(jié)構(gòu),，用戶可據(jù)自己的需求,，升級(jí)為多功能鍍膜設(shè)備；

5,、多弧離子部份采用先進(jìn)鍍膜工藝技術(shù),，即可鍍制裝飾膜，也能鍍制功能膜,，數(shù)道工藝,，一次完成，極為先進(jìn)科學(xué),；

6,、智能控制：PLC智能控制+HMI全彩人機(jī)觸控界面，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制,；

7,、報(bào)警及保護(hù)：異常情況進(jìn)行報(bào)警，并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施,。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)

1,、膜層致密、粘附性好,；膜層均勻性可調(diào)；高穩(wěn)定性；高功率,；

2,、均勻性好；優(yōu)化磁場(chǎng)設(shè)計(jì),，維護(hù)方便,；有效水冷設(shè)計(jì)，靶材可以連續(xù)24小時(shí)工作,；

3,、腔體接口通用尺寸，互換性強(qiáng),，優(yōu)化升級(jí)方便,；

4、實(shí)時(shí)記錄歷史數(shù)據(jù)和分析數(shù)據(jù)曲線,，對(duì)品質(zhì)管理管控和工藝開發(fā)有明顯幫助,。強(qiáng)大的軟件功能，友好的人機(jī)界面,，實(shí)時(shí)記錄工藝數(shù)據(jù),，利于質(zhì)量管控、疑難分析,、開發(fā)新工藝等,；

5、模塊化工藝配方,，靈活設(shè)定子配方和總配方,，子配方添加/刪減方便，一鍵式操作即可完成多層工藝配方,。