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主要特點

1,、傳動裝置為水冷式：設(shè)計新穎,、結(jié)構(gòu)緊湊、系列間通用,、互換性強,；水冷式機座，散熱效果佳,；滾動軸承及傳動齒輪可加潤滑油運行,，使用壽命增長3-5倍；

2,、旋轉(zhuǎn)裝置為行星旋轉(zhuǎn)機構(gòu),、據(jù)鍍膜工藝不同，設(shè)計為：公轉(zhuǎn)式,、公/自轉(zhuǎn)式,；

3、采用氣動門鉸,，自動鎖門,，減少操作程序，增強真空門整體的密閉性及減少對橡膠密封圈的破壞性,；

4,、真空容器設(shè)計為新型結(jié)構(gòu)，用戶可據(jù)自己的需求,，升級為多功能鍍膜設(shè)備,；

5、多弧離子部份采用先進(jìn)鍍膜工藝技術(shù),，即可鍍制裝飾膜,，也能鍍制功能膜，數(shù)道工藝,，一次完成,，極為先進(jìn)科學(xué),；

6、智能控制：PLC智能控制+HMI全彩人機觸控界面,，實現(xiàn)全自動控制,；

7、報警及保護(hù)：異常情況進(jìn)行報警,，并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施,。

技術(shù)優(yōu)勢

1、膜層致密,、粘附性好,；膜層均勻性可調(diào)；高穩(wěn)定性,；高功率,；

2、均勻性好,；優(yōu)化磁場設(shè)計,，維護(hù)方便；有效水冷設(shè)計,，靶材可以連續(xù)24小時工作,；

3,、腔體接口通用尺寸,，互換性強，優(yōu)化升級方便,；

4,、實時記錄歷史數(shù)據(jù)和分析數(shù)據(jù)曲線，對品質(zhì)管理管控和工藝開發(fā)有明顯幫助,。強大的軟件功能,，友好的人機界面，實時記錄工藝數(shù)據(jù),，利于質(zhì)量管控,、疑難分析、開發(fā)新工藝等,；

5,、模塊化工藝配方，靈活設(shè)定子配方和總配方,，子配方添加/刪減方便,，一鍵式操作即可完成多層工藝配方。