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主要特點

1,、 由9個多弧離子鍍膜源+2個陽極層離子束清洗源+2個磁控濺射弧源融合成鍍膜工藝系統(tǒng)；

2,、 每個磁控濺射弧源的靶材可以根據(jù)需求應用不同的靶材材質(zhì),；

3、 腔室采用優(yōu)質(zhì)SUS304不銹鋼機身,，隱藏式雙層冷卻水冷設計,；

4、 合理配備多套新研制的離子弧源,，有效保障弧源濺射的穩(wěn)定性與均勻性,；

5、 采用多路進氣系統(tǒng),，精準控制氣體流量,，滿足多種化合物膜層需求。

技術(shù)優(yōu)勢

1,、 致密,、粘附性好,；重復性高、均勻性好,；

2,、 高穩(wěn)定性；高功率,；維護方便；有效水冷設計,，靶材可以連續(xù)24小時工作,；

3、 腔體接口通用尺寸,，互換性強,，優(yōu)化升級方便；

4,、 磁控濺射源與陰極弧源都采用獨特的磁場設計和布氣方式,，極大地提高了有效鍍膜空間和膜層均勻性；

5,、 實時記錄歷史數(shù)據(jù)和分析數(shù)據(jù)曲線,，對品質(zhì)管理管控和工藝開發(fā)有明顯幫助；

6,、 全自動控制,，一鍵式操作，友好的人機界面,，實時記錄工藝數(shù)據(jù),，利于質(zhì)量管控、疑難分析,、開發(fā)新工藝等,；

7、 模塊化工藝配方,，靈活設定各級配方,，一鍵式操作即可完成多層工藝配方。