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主要特點(diǎn)

1、腔體結(jié)構(gòu)由一個(gè)裝載腔室和一個(gè)真空鍍膜工藝腔室組合而成,；

2,、裝載腔室裝載的同時(shí)鍍膜工藝腔室同步進(jìn)行抽真空，極大縮短了鍍膜前處理時(shí)間,，提高工作效率,；

3、裝載腔室和鍍膜工藝腔室之間我們?cè)O(shè)計(jì)采用插板閥隔開,，可以有效隔斷,，穩(wěn)定工藝氣體；

4,、傳動(dòng)采用磁導(dǎo)向,，保障傳動(dòng)的穩(wěn)定性。采用變頻調(diào)速電機(jī)驅(qū)動(dòng),，運(yùn)行速度可調(diào)節(jié),。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)

1、PIC配有高效的電磁掃描系統(tǒng)和過濾系統(tǒng),，離子束能量和方向可調(diào),，可將等離子體中的雜質(zhì)顆粒,、宏觀粒子、大型離子團(tuán)等過濾干凈,，經(jīng)過磁過濾后沉積粒子的離化率為100%,，并且可以過濾掉大顆粒，因此制出的納米薄膜非常致密且平整光滑,，抗腐蝕性能好,，與工件的結(jié)合力很強(qiáng)，在均勻性,、致密性,、結(jié)合度、硬度,、摩擦系數(shù),、改變物質(zhì)表面結(jié)構(gòu)和消除薄膜顆粒等方面取得里程碑式的突破；

2,、純離子鍍膜技術(shù)是低溫工藝,，鍍膜過程可以控制在80?C以下,。鍍膜過程中既不需要高溫也不會(huì)產(chǎn)生高溫,，因此可以應(yīng)用于塑料、橡膠等產(chǎn)品,；

3,、作為純離子鍍膜重要應(yīng)用之一的類金剛石DLC鍍膜，膜層可以達(dá)到75%以上的（金剛石鍵）SP3鍵,，其物理化學(xué)性質(zhì)和金剛石極其類似,，所以薄膜具有極高的硬度（>75GPa）,極低的摩擦系數(shù)（<0.1），耐腐蝕性,、光學(xué)透明度等一系列優(yōu)異特征,。可將鍍膜件（基體）壽命延長(zhǎng)7-10倍,。