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INFICON 生產(chǎn)的Bayard-Alpert 皮拉尼復合真空計,， BPG402-S,，兩
種真空計集成在一個小型的單元內(nèi)，測量范圍從5x10-10 毫巴至大
氣壓(3.8x10-10 乇至大氣壓). 復合的技術(shù)降低了安裝,，設置和集成
的復雜性.在一個小型外殼內(nèi)裝有雙敷涂釔的氧化銥燈絲的
BPG402-S 用于頻繁與重復的工藝過程中測量基本壓強. 帶有在
機校準數(shù)據(jù)的敏感元件保證更換傳感器的高度再現(xiàn)性.
優(yōu)點
極寬的測量范圍從 5x10-10 毫巴至大氣壓(3.8x10-10 乇至大氣壓)
極好的重復性,，過程壓強范圍10-8 … 10-2 毫巴均為5%
皮拉尼連鎖保護燈絲，防止過早燒毀
雙敷涂釔的氧化銥長壽命燈絲
可選圖形顯示和現(xiàn)場總線接口
自動高真空皮拉尼調(diào)整,，減少操作人員的干預
容易更換具有在機校準的傳感元件,，保證高度重復性
應 用
半導體工藝和輸送室中的壓強測量
工業(yè)鍍膜
一般真空測量和控制，從低至超高真空范圍
暫無數(shù)據(jù),！
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