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• 用于監(jiān)測復雜工藝制程四極質譜分析儀系統(tǒng)，檢測范圍：0-100,，0-200和0-300amu
• 允許7天24小時連續(xù)監(jiān)控,，提高產(chǎn)品良率及產(chǎn)能，降低生產(chǎn)成本
• 緊湊型設計可安裝于每個高壓強真空系統(tǒng)
• HexBlock ^TM 取樣系統(tǒng)使系統(tǒng)性能**化
• 內(nèi)置壓力傳感器（CDG）,，用于工藝壓強監(jiān)測和提供聯(lián)鎖保護
• 備用可選的標準氣體,，用于調(diào)諧和校正
• 封閉式離子源可阻擋腐蝕性氣體和反應性氣體，并可檢測ppm量級的污染物
• 重量輕,，易搬運

應用：

• 高壓強真空系統(tǒng)（< 2個大氣壓）檢漏,，氣體純度,，污染檢測,，工藝制程監(jiān)控及刻蝕終點探測 （Endpoint），涉及領域：材料,，傳統(tǒng)高壓強真空系統(tǒng),，半導體，平板顯示器及太陽能等行業(yè)PVD,，CVD及刻蝕系統(tǒng)