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先進,,實用的單層和多層鍍膜速率控制
用于單層和多層鍍膜工藝的薄膜鍍層控制儀XTC/3
裝備有ModeLock1**技術(shù),,提供驗證的模式跳躍防止功能,可達到始終如一的鍍膜質(zhì)量. 使用XTC/3薄膜鍍層控制儀,,可高度精確地控制鍍膜速率與膜層厚度, 具有能控制幾乎任何膜層數(shù)量的能力,,容易安裝,,和極高的可靠性,可確保高的生產(chǎn)率.
特 點 |
■ 有單膜層和多膜層型號
■ ModeLock**技術(shù)防止由于模式跳躍導(dǎo)致的膜厚誤差
■ 支持INFICON Crystal 12™,, CrystalSix®和雙傳感器自動晶體切換,,用于**生產(chǎn)率
■ XTC/3M多膜層型號支持多至99個工藝過程, 999個膜層,, 32個鍍層,, 2個傳感器和兩個源
■ XTC/3S單膜層型號支持多至9個鍍層, 2個傳感器和兩個源
■ 易閱讀的TFT LCD圖形顯示器
■ 為便于檢索,,可指定獨特的和描述性的薄膜與過程名稱
■ 有以太網(wǎng)連接件
■ 單獨運行(無需計算機)或用PC運行的Windows®軟件選件
■ INFICON XTC/2控制儀的即插即用更換件(限于XTC/2功能和指令組)
集成電路執(zhí)照
光學(xué)鍍膜
濺射鍍膜
薄膜太陽能電池制造
OLED制造
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