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Transpector XPR3氣體分析系統(tǒng)
Transpector XPR3氣體分析系統(tǒng)

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英福康（廣州）真空儀器有限公司

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特征概覽:

  • 新設計的離子源使污染*小化,，從而延長其使用壽命和提供更清楚的訊號
  • 新型電子倍增器在PVD工藝壓強下提供更快速,，清晰的數(shù)據(jù)收集和免除法拉第杯和電子倍增器的轉(zhuǎn)換，使數(shù)據(jù)一致性,。
  • 新型加長的四極桿場可提高低質(zhì)量范圍的過濾能力,，提高質(zhì)譜儀分辨同位素的靈敏度，及改善對氫的檢測靈敏度
  • 內(nèi)置壓力傳感器（CDG）,，用于工藝壓強監(jiān)測和提供聯(lián)鎖保護,，有效延長燈絲使用壽命

應用：

  • 高壓強真空系統(tǒng)（< 20毫乇）檢漏，氣體純度,，污染檢測及制程工藝監(jiān)控,，涉及領域：傳統(tǒng)高壓強真空系統(tǒng)，半導體,，平板顯示器及太陽能等行業(yè)PVD系統(tǒng)

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