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Quantus LP100低壓氣體光譜分析儀
Quantus LP100低壓氣體光譜分析儀

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特征概覽:

  • 等離子體頻率400M Hz,, 光波長范圍:190-890 納米
  • 易更換等離子體組件,低的運行維護費
  • KF25 標準連接口
  • 良好的探測精度至ppm級
  • 寬工作壓力范圍:10毫乇至1乇,,無需泵組
  • 快速采樣頻率24赫茲
  • 小巧,,易安裝

應用:

  • 用于半導體,平板顯示器及太陽能等行業(yè)PVD,,CVD及刻蝕腔體檢漏,,氣體組份比率及等離子體刻蝕終點探測(Endpoint)。
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