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• 等離子體頻率400M Hz,， 光波長(zhǎng)范圍：190-890 納米
• 易更換等離子體組件，低的運(yùn)行維護(hù)費(fèi)
• KF25 標(biāo)準(zhǔn)連接口
• 良好的探測(cè)精度至ppm級(jí)
• 寬工作壓力范圍：10毫乇至1乇,，無(wú)需泵組
• 快速采樣頻率24赫茲
• 小巧,，易安裝

應(yīng)用：

• 用于半導(dǎo)體，平板顯示器及太陽(yáng)能等行業(yè)PVD,，CVD及刻蝕腔體檢漏,，氣體組份比率及等離子體刻蝕終點(diǎn)探測(cè)（Endpoint）。