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英福康UL1000FAB移動式氦氣檢漏儀特別設(shè)計用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求,。

憑借工廠環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級中的簡單使用性,、檢漏效率性和移動性，UL1000FAB氦氣檢漏儀提供在所有測量范圍中提供極快的漏率響應(yīng),。通過結(jié)合高速氦氣抽吸和高進(jìn)氣口壓強(qiáng)的**真空結(jié)構(gòu),，UL1000FAB氦氣檢漏儀提供的****的漏率低達(dá)< 5×10^-12毫巴·升/秒,。**軟件I-CAL（智能漏率計算法）讓您忘記在低漏率范圍檢漏時較長反應(yīng)時間的煩惱，因為UL1000能夠?qū)λ新┞史秶龀隹焖夙憫?yīng),。

可選配的遙控器RC1000WL允許距離為100米時超過8小時的無線作業(yè),。該單元配置一個3.5″的豐彩觸摸顯示屏并具備直觀的操作特點。連接2個或多個檢漏儀的RC1000C有線型和無線遙控手柄用于完成產(chǎn)品組合,。

使用額外的TC1000測試盒附件,，UL1000FAB氦氣檢漏儀為密封產(chǎn)品提供簡單、快速,、精確的測試,，如IC包裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù)MilStd883,，方法1014）,。

特征概覽

• 15級的寬測量范圍
• 較短的抽氣和響應(yīng)時間
• 移動式全金屬外殼為**可操作性提供了額外便利性
• I-CAL確保了所有測量范圍中泄漏的*快響應(yīng)時間
• 抑零功能和自動積分時間校正提供快速、可靠的測試結(jié)果
• 含堅固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計提供高速氦氣抽速和高壓縮比
• 旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許該單元的簡單,、輕松控制和交互作用
• 自保護(hù)功能可防止UL1000Fab氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
• 自動吹掃循環(huán)可確保隨時可用性
• 通過電子郵件進(jìn)行軟件升級
• 含兩個燈絲離子源（3年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長的運(yùn)行時間和較低的維護(hù)成本
• 內(nèi)部校準(zhǔn)用的內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔確保了精確的測試結(jié)果
• 內(nèi)置軟件菜單“自動測漏”功能可使用TC1000測試盒執(zhí)行密封部件的自動測試
• 可選RC1000遙控器

應(yīng)用

• 半導(dǎo)體加工工具上的維護(hù)工作
• 工藝氣體系統(tǒng)的檢測和安裝
• 部件檢漏
• 需高泵抽速,、高靈敏度和清潔測試條件的應(yīng)用