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日立高新離子研磨裝置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000 )具有斷面加工和平面研磨功能的混合儀器,!
日立高新離子研磨裝置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000 )的混合模式帶有兩種研磨配置:
斷面加工:將樣品斷面研磨光滑,,便于表面以下結構高分辨成像。
平面研磨:將樣品表面均勻研磨5平方毫米,,從不同角度有選擇地研磨,,以便突出樣品的表面特性。
日立高新離子研磨裝置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000 )的高通量能提高加工效率:
與之前的E-3500型相比,,采用新型離子槍設計,,減少了橫截面研磨時間。
(**加工率:硅元素為300微米/小時 — 加工時間減少了66%,。
日立高新離子研磨裝置IM4000(HITACHI Ion Milling System IM4000 )的可拆卸樣品臺裝置:
為便于樣品設置和定義研磨邊緣,,可將樣品臺裝置拆卸。
特點 |
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