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超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus8100
超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus8100

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日本

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日立科學儀器(北京)有限公司

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"Regulus系列"是日立高新技術(shù)的FE-SEM的全新品牌,,包括作為SU8010的后續(xù)機型開發(fā)的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升級 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240",,共4個機型,均實現(xiàn)了分辨率和操作性的強化,。

掃描電子顯微鏡(SEM)被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù),,半導體?電子行業(yè),生命科學,,材料科學等領(lǐng)域的材料結(jié)構(gòu)觀察,。近年來,新一代的電子器件應(yīng)用中受到廣泛期待的新型碳材料,,高分子材料,,復合材料等的研究作為先進科學技術(shù)的中堅技術(shù),在全世界范圍內(nèi)受到熱捧,。掃描電子顯微鏡廣泛用于這些材料的觀察?評價,,但僅僅具有超高分辨率還遠遠不夠。還要求能在低加速電壓下對表面細微結(jié)構(gòu)的觀察和高靈敏度的元素分析,。除此之外,,在長期的研究過程中還追求電鏡的性能的持續(xù)穩(wěn)定和信賴性。

本次發(fā)布的新品牌 "Regulus系列" 電子光學系統(tǒng)進行了**化處理,,使得著陸電壓在1kV時分辨率較前代機型提高了約20%,。"Regulus8220/8230/8240"達到0.9nm,"Regulus8100"為1.1 nm的分辨率,。另外,,*適合低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細節(jié)放大,并獲得高質(zhì)量的圖片,。**放大倍率也由之前的100萬倍提高到了200萬倍,。

除此之外,為了能更好的應(yīng)對不同樣品的測試和保持并發(fā)揮出高性能,,還對用戶輔助工能進行了強化,,如信號檢測系統(tǒng)的操作輔助功能,維護輔助功能等,。

主要特點

  1. 搭載了色差極小的適合低加速電壓高分辨率觀察的冷場電子槍

  2. 跟前代機型相比分辨率大約提高了20%

    (Regulus8220/8230/8240:0.9 nm/1 kV,,Regulus8100:1.1 nm/1 kV)

  3. **倍率從原來的100萬倍提高到200萬倍*1

  4. 用戶輔助功能,幫助用戶把儀器的高性能完全發(fā)揮出來

主要參數(shù)

名稱Regulus8100Regulus8240/8230/8220
二次電子分辨率0.8 nm(加速電壓 15 kV)

1.1 nm(著陸電壓 1 kV)*2

0.7 nm(加速電壓 15 kV)

0.9 nm(著陸電壓 1 kV)*2

加速電壓0.5~30 kV0.5~30 kV
著陸電壓*20.1~2 kV0.01~20 kV
倍率20~1,,000,,000倍*320~2,000,,000倍*3
馬達臺控制3軸自動*45軸自動

*1 僅限 Regulus8240/8230/8220

*2 減速模式觀察

*3 127 mm × 95 mm 視野的畫面倍率

*4 5軸馬達臺為選配項

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