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MProbe MSP
顯微薄膜測量儀
MProbe讓你成為測量專家
大部分半透明的或具有輕微吸收性的薄膜能夠被快速,、可靠的測量：氧化物,、氮化物、感光耐蝕膜,、聚合物,、半導(dǎo)體(Si， aSi,，polySi),、半導(dǎo)體化合物(AlGaAs， InGaAs,， CdTe,，CIGS)、硬涂層(SiC,， DLC),， 聚合物涂料 (Paralene，PMMA,，聚酰胺),，薄金屬薄膜等。
厚度范圍: 1 nm - 1 mm
波長范圍: 200 nm -1700 nm
光斑尺寸:50 um -4 um
在薄膜太陽能電池中的應(yīng)用: aSi,， TCO,， CIGS， CdS,， CdTe-全太陽能堆棧測量LCD,， FPD應(yīng)用: ITO， 細(xì)胞間隙,，聚酰胺,。光學(xué)涂層: 介質(zhì)濾波器，硬涂層,，防反射涂層半導(dǎo)體和電解質(zhì): 氧化物,，氮化物,， OLED堆
實(shí)時測量和分析。各種多層次的,， 薄的,，厚的，獨(dú)立的和不均勻的層 ,。
豐富的材料庫 (500多種材料) – 新材料容易增添。支持參數(shù)化材料:Cauchy,， Tauc-Lorentz,， Cody-Lorentz， EMA 等
使用靈活: 用TCP接口能容易的和外部系統(tǒng)連接,。
測量參數(shù): 厚度,、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度
界面友好強(qiáng)大: 一鍵式測量和分析,。強(qiáng)大的工具:仿真和靈敏度分析,，背景和縮放修正，連接層和材料,，多樣品測量,、動態(tài)測量和生產(chǎn)批量處理。.
氧化物(100 nm)測量,，光斑尺寸40 um 波長范圍:200 nm-1000 nm
MProbeUVVisNIR-MSP system
精度 | <0.01nm或0.01% |
精確度 | <0.2%或1 nm |
穩(wěn)定性 | <0.02nm或0.03% |
光斑尺寸 | 50 μm-4 μm |
樣本大小 | 從100 mm到200mm x 200mm |
物鏡 | 10x,，20x，50x (Vis),， 8x(UV-NIR). 等焦面95,，長WD物鏡 |
基本選項(xiàng)/參數(shù)
選項(xiàng) | 產(chǎn)品描述 | 評析 |
-MXY[6 or 8] | 電動平臺為6” x6” (150 mm)或8”x8” (200 mm)。包含控制器和支持映射軟件,。 步長0.5 mm,，重復(fù)性1 um。 | 8”x8” 包含手工階段作為所有模型的標(biāo)準(zhǔn) |
-TOM | 透光率測量配置,。包括:玻璃插入的階 段,，光源/電容器，光纖 | 適用于Vis和IR |
-TOSwitch | 使用相同的光譜通道結(jié)合了反射和透射系數(shù)測量 | 需要-TOM.詳情參考單獨(dú)小冊 |
-APO100 | APO 100X 物鏡（可見物）,，95 mm 的等焦面,，R=0.7 μm | 10x，20x,，50x and 8x UV-NIR 都包含在標(biāo)準(zhǔn)里 |
-CCD | 相機(jī)目鏡2 MP | 其他的相機(jī):UV,， Vis， IR 均可用 |
型號 | 波長范圍 | 光譜儀探測器/檢測器/光源 | 厚度范圍* |
VIS-MSP | 400-1100nm | 分光儀 F4/Si 3600像素點(diǎn)/鎢-鹵素光源 | 15nm-20 μm (可多達(dá)50 μm) |
UVVisSR-MSP | 200-1000nm | 分光儀 F4/ Si CCD 3600像素點(diǎn)/氘-鎢鹵組合式光源 | 1nm-20μm (可多達(dá)50 μm) |
HRVIS-MSP | 700-1000nm | HR分光儀F4/Si 3600 像素點(diǎn)/鎢-鹵素光源 | 1μm-400 μm |
NIR-MSP | 900-1700nm | 傳輸光譜儀(TVG) F2/512 InGaAs/鎢-鹵素光源 | 100nm-200 μm |
VISNIR-MSP | 400-1700nm | 分光儀 F4 Si CCD 3600 像素點(diǎn)(Vis channel),；傳輸光譜儀(TVG)F2/512 InGaAs PDA( NIR channel) 氘-鎢鹵組合式光源 | 15nm-200 μm |
UVVISNIR- MSP | 200-1700nm | 分光儀 F4 Si CCD 3600 像素點(diǎn)(Vis channel),；傳輸(TVG)F2/512 InGaA(NIR channel) 氘-鎢鹵組合式光源 | 1nm-300 μm |
XT-MSP | 1590nm-1650nm | 傳輸光譜儀 (TVG) F2/512 InGaAs/鎢 -鹵素光源 | 10μm-1mm |
* T,， n & k 測量的厚度范圍為25nm – 5um
其他配置也是可以做到，歡迎原始設(shè)備制造商咨詢和定制開發(fā)項(xiàng)目,。
對所有系統(tǒng)中的配件有一年的質(zhì)量保證,。
暫無數(shù)據(jù)！
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