NMM-1目前立足的觀念允許利用Z軸作為觸覺探索方向,，這意味著正好是一個(gè)高程測量將關(guān)聯(lián)到xy平面的每個(gè)點(diǎn)。這些測量值被稱為2.5D表面測量,。NMM-1的良好的計(jì)量特性被用來校準(zhǔn)傳遞標(biāo)準(zhǔn),，例如階梯高度，單維和二維位移取代標(biāo)準(zhǔn),，平面度標(biāo)準(zhǔn)和粗糙度標(biāo)準(zhǔn),，在全世界的一些政府機(jī)構(gòu)。一些循環(huán)比較測量已經(jīng)演示了它的潛能,。然而,，垂直面既不能被發(fā)現(xiàn)也不能用2.5D輪廓度測量進(jìn)行分析。問題也會出現(xiàn)在超過一定角度的陡峭的表面梯度,，例如:鏡頭或沖壓模具的彎曲表面,。為了滿足微型元件的高精度測量的所有需求，NMM-1通過增加3D功能進(jìn)行升級,。在很大程度上,，這從本質(zhì)上意味著通過合并來自I++/DME規(guī)格的許多指令來對固件進(jìn)行修改。開環(huán)掃描命令允許驅(qū)使探針傳感器接近并接觸被測量物體的各種選擇,，已經(jīng)合并，并基于從傳感器上接收來的信號對掃描方向進(jìn)行計(jì)算,。單點(diǎn)測量的
指令也被合并,。附加指令也被合并，為了允許探針系統(tǒng)的使用,，例如白光干涉儀和其他類型的不提供調(diào)節(jié)位置回饋信號的表面?zhèn)鞲衅鳌?/div>
在三個(gè)空間軸上都有響應(yīng)度的探針系統(tǒng),，是在三位物體上做測量的基本要素。由快速工程提供的GannenXP微型觸覺探針系統(tǒng)被并入NMM-1,。這套系統(tǒng)的基礎(chǔ)是一個(gè)硅膠模,，合并四個(gè)一組排列的十二個(gè)壓敏電阻元件，并且圍繞探頭尖空間均勻分布,。每個(gè)組被連接到一個(gè)單臂電橋上且提供測量信號,。探針尖直接連接到薄膜上以便這個(gè)裝配作為一個(gè)單元被替代。盡管如此,，來自薄膜的三個(gè)信號隨著NMM-1內(nèi)探針方向的變化而變,，這就是薄膜被替代時(shí)探
針信號必須重新校準(zhǔn)的原因。一個(gè)小的立方體常用于此目的，沿著三個(gè)空間軸,，在立方體上雙向掃描的探針尖和記錄的總信號,。這種方式下獲得的校準(zhǔn)系數(shù)可用來計(jì)算一個(gè)系數(shù)矩陣，加之任何薄膜的特殊彈性,，可以用來計(jì)算探針力顯微鏡,。因此，在微型元件上進(jìn)行高精度,、自由的表面測量和三位掃描,，觸覺測量是可能的。
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