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高真空的掃描電鏡,，聚焦離子束FIB系統(tǒng)，由于樣品,，操作,，油污，F(xiàn)IB的氣體注入系統(tǒng)帶來的碳氫污染物會累積在樣品室表面,，以及探測器包括EDX窗口,，進而影響系統(tǒng)分辨率，清晰度,，真空度以及穩(wěn)定性,。
Evactron等離子清洗機適用于任何掃描電鏡，她可以很好的解決這些困擾電鏡使用者的污染問題.
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