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高真空的掃描電鏡，聚焦離子束FIB系統(tǒng),，由于樣品,，操作，油污,，F(xiàn)IB的氣體注入系統(tǒng)帶來(lái)的碳?xì)湮廴疚飼?huì)累積在樣品室表面,，以及探測(cè)器包括EDX窗口，進(jìn)而影響系統(tǒng)分辨率,，清晰度，真空度以及穩(wěn)定性,。

Evactron等離子清洗機(jī)適用于任何掃描電鏡,，她可以很好的解決這些困擾電鏡使用者的污染問(wèn)題.

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