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一鍵式全自動快速橢偏儀 Auto SE——新型的全自動薄膜測量分析工具,。采用工業(yè)化設(shè)計,，操作簡單，可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動測量和分析,，并輸出分析報告,。是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

1. 液晶調(diào)制技術(shù),，無機械轉(zhuǎn)動部件,，重復(fù)性，信噪比高

2. 技術(shù)成像系技術(shù),，所有樣品均可成像,，對于透明樣品，自動去除樣品的背反射信號,，使得數(shù)據(jù)分析更簡單.

3. 反射式微光斑,，覆蓋全譜段，利于非均勻樣品圖案化樣品測試

4. 全自動集成度高,，安裝維護簡便

5. 一鍵式操作軟件,，快速簡單

6. 自動MAPPING掃描，分析樣品鍍膜均勻性

1. 光譜范圍：450-1000 nm

2. 多種微光斑自動選擇

3. 光斑可視技術(shù),，可觀測任何樣品表面

4. 自動樣品臺尺寸：200mmX200mm,；XYZ方向自動調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

5. 70度角入射

6. CCD探測器

橢圓偏振光譜入門手冊——測量膜厚、光學(xué)常數(shù)的強大工具