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AutoSE-一鍵式全自動快速橢偏儀
全自動化&高集成度&可視化光斑
操作簡單,，測試快速,，為一般操作工人設計
一鍵式全自動快速橢偏儀 Auto SE——新型的全自動薄膜測量分析工具。
采用工業(yè)化設計,，操作簡單,，可在幾秒鐘內完成全自動測量和分析，并輸出分析報告,。
是用于快速薄膜測量和器件質量控制理想的解決方案。
主要特點
1. 液晶調制技術,，無機械轉動部件,，重復性,，信噪比高
2. **技術成像系技術,，所有樣品均可成像，對于透明樣品,，自動去除樣品的背反射信號,，使得數據分析更簡單.
3. 反射式微光斑，覆蓋全譜段,，利于非均勻樣品圖案化樣品測試
4. 全自動集成度高,，安裝維護簡便
5. 一鍵式操作軟件，快速簡單
6. 自動MAPPING掃描,，分析樣品鍍膜均勻性
技術參數
1. 光譜范圍：450-1000 nm
2. 多種微光斑自動選擇
3. **光斑可視技術,，可觀測任何樣品表面
4. 自動樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動調節(jié); Z軸高度>35mm
5. 70度角入射
6. CCD探測器
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