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Film Sense FS-1™多波長橢偏儀
型號：Film Sense FS-1™
Film Sense FS-1™多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器,，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現(xiàn)快速和可 靠地薄膜測量,。大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量，就 可以獲得非常精密和準確的數(shù)據(jù),。
Film Sense FS-1™多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器,，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現(xiàn)快速和可 靠地薄膜測量。
大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量,，就 可以獲得非常精密和準確的數(shù)據(jù),。還可以測量大多數(shù)樣品的光學常 數(shù)和其他薄膜特性。
Film Sense FS-1™多波長橢偏儀 這款功能強大的多波長橢偏儀,，售價只是單一波長橢偏儀
和光譜橢偏儀的中等水平,。FS-1 可應用于研究實驗室，超凈間,，原位工藝腔體以及工業(yè)質量控制等諸多領域
主要特點
n 4 個 LED 光源：藍色（465nm）,，綠色（525nm）， 黃色（580nm）,，紅色（635nm）
n 橢偏儀探測器中無可移動部件
n **的膜厚精密性,，大多數(shù)樣品精密度優(yōu)于 0.001nm（1 秒獲取數(shù)據(jù)），對于亞單原子薄膜精密度等于0.001nm
n 集成計算機,，可實現(xiàn)對設備控制和數(shù)據(jù)分析,，自帶 瀏覽器界面，可兼容任何現(xiàn)代計算機,，筆記本或平 板電腦
優(yōu)勢
n 壽命長（長達 50,，000 小時），更換 LED 燈便宜,，校準時 間短或無需 PM 程序
n 快速測量（10ms 內獲得多波長數(shù)據(jù)）和長期性能穩(wěn)定
n 測量精確,，只有橢偏儀可以實現(xiàn)
n 軟件設置和維護簡單
標準 FS-1 配置
n 65°入射角
n 手動放置樣品和調節(jié)高度
n 樣品尺寸zui大直徑 200mm 和厚度 23mm
n 樣品偏轉范圍+/-20
n 樣品上光束尺寸 5 x 12 mm
n 結構緊湊(180 x 400 mm) 和輕巧(4.8 kg)
性能
FS-1 多波長橢偏儀擅長測量膜厚范圍 0-1000nm 的透明單一薄 膜的厚度和折射率。下表列出的是針對各種不同樣品,，包括多 層膜樣品，FS-1 獲得的標準測量精密度和準確性數(shù)據(jù),。
應用領域
n 半導體行業(yè)：二氧化硅和氮化物,，高介電和低介電 材料，非晶和多晶材料,，硅薄膜,，光刻膠
n 光學薄膜行業(yè)：高和低指數(shù)薄膜,，如 SiO2， TiO2,， Ta2O5,， MgF2 等
n 顯示屏行業(yè)：TCO（如 ITO），非晶硅薄膜,，有機薄 膜（OLED 技術）
n 數(shù)據(jù)存儲行業(yè)：寶石,，如碳膜
n 工藝研發(fā)：原位表征薄膜沉積（速率和光學常數(shù)） VS 工藝條件，可兼容 MBE,， MOCVD,， ALD 和磁控濺射 等設備
n 化學和生物：在液體細胞實驗中探測亞單原子層材 料吸附
n 工業(yè)：在線監(jiān)測和控制膜厚
In Situ 在線測量功能
n 亞單原子膜厚精密度
n 多工藝條件下測定薄膜光學常數(shù) n&k 和沉積速率，不 會破壞真空
n 監(jiān)測和控制多層膜結構沉積
n FS-API 界面,，外置軟件控制（兼容 LabVIEW™ ）
n 兼容大多數(shù)薄膜沉積技術：磁控濺射,，ALD，MBE,，MOCVD,，電子束蒸發(fā)等
In Situ 在線測量
產(chǎn)品包括 FS-1™多波長橢偏儀，帶緊湊自動 mapping 樣品 臺,，可以實現(xiàn)快速,，準確和可靠的薄膜均勻性測量。
特點和參數(shù)
n 4 段波長的橢偏數(shù)據(jù)（465,， 525,， 580， 635 nm）,，壽命長 的 LED 光源,，探測器內無可移動部件
n 可對 0-1000nm 透明薄膜進行準確的厚度測量
n 標準濃厚重復性 0.015 nm
n 集成聚焦探針，標準光斑尺寸 0.8 x 1.9 mm （其他尺寸 可選）
n 電動 Z 軸樣品臺自動準直
n 靈活掃描圖案編輯器
n 測量參數(shù)等值線繪制
聚焦光束選件
樣品上光束尺寸減小到 0.8 x 1.9 mm 或 0.3 x 0.7 mm
聚焦光束檢測
聚焦光束檢測系統(tǒng)包括一個 FS-1 多波長橢偏儀,，帶光束聚焦光學器件和一個手動位移臺,。該系統(tǒng) 非常適合用于手動檢測和在圖案化半導體晶圓上 進行質量控制測量。
可進行科研測量,，帶小尺寸光斑和相機成像功能
手動位移臺,，可容納 4’，5’,，6’晶圓
樣品上光束尺寸 0.3 x 0.7 mm
樣品上光束位置視頻圖像
FS-XY150
n 標準晶圓 map 時間：60s（150mm 晶圓上取 49 個點）
n 結構緊湊：600x600 mm,， 16 kg
n 樣品臺行程（X，Y）：150 x 150 mm,， 精度：5 μm
FS-RT300
n 標準晶圓 map 時間：90s（300mm 晶圓上取 49 個點）
n 結構緊湊：400x500 mm,， 22 kg
n 樣品臺行程：R (線性) ：150 mm， 精度：12 μm
n 角度（旋轉）360°，精度：0.1°
暫無數(shù)據(jù),！
多波長橢偏儀的工作原理介紹,？多波長橢偏儀的使用方法,？多波長橢偏儀多少錢一臺？多波長橢偏儀使用的注意事項多波長橢偏儀的說明書有嗎,？多波長橢偏儀的操作規(guī)程有嗎,？多波長橢偏儀的報價含票含運費嗎？多波長橢偏儀有現(xiàn)貨嗎,？多波長橢偏儀包安裝嗎,？
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